大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』

日本カンタム・デザイン株式会社

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03-5964-6620

営業時間：9:00〜17:00
（土日祝・年末年始・会社休業日を除く）

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵　高真空対応コンパクト標準ステージ 　
　　　　　・X-LSM-SV1シリーズ（10-3 トール対応）
　　　　　・X-LSM-SV2シリーズ（10-6 トール対応）
CapD20201223_1 X-LSM-SV2 70%.jpg

X-LSM-SVシリーズ  

CapD20201225_14 真空内でのデイジーチェーンのメリット 50%.jpg

デイジーチェーン接続で省配線化 

CapD20201229 X-PIB 50%.jpg

電源供給用ユニット：X-PIB



特徴
  • 最大耐荷重：10kg
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品：X-PIB


     
対応真空度
最大 10-3 トール：X-LSM-SV1

 最大 10-6 トール：X-LSM-SV2 -6

ストローク長
 		 25mm〜200mm

最大耐荷重
 		 最大 100 N

最高速度
 		 100 mm/s

最大推力
 		 25 N

標準分解能
 		 47.6 nm


>> X-LSM-SV1&2 データシート&(PDF)　

>>英文マニュアル（Zaber社ウェブページ)　

(和文マニュアルは準備中）
 

型番仕様

CapD X-LSM-SV 50%.jpg

※型番にないストローク長、リードネジ仕様等ご要望ございましたらお問い合わせください。

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- Line up -

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