大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 リニアアクチュエータ T-NA08A25-SV1シリーズ(10-3 トール対応) / T-NA08A25-SV2シリーズ(10-6 トール対応) T-NA08A25-SV1シリーズ(10-3トール対応) / T-NA08A25-SV2 シリーズ(10-6トール対応) |
T-NA08A-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
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対応真空度 | 最大 10-3 トール:T-NA08A25-SV1 T-NA08A50-SV1 最大 10-6 トール:T-NA08A50-SV2 T-NA08A50-SV2 |
ストローク長 | 25mm 及び 50 mm |
最大耐荷重 | 最大 46 N |
最高速度 | 8mm/s |
最大推力 | < 1 μm |
標準分解能 | 0.047625μm |
(和文マニュアルは準備中) |