大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』

日本カンタム・デザイン株式会社

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精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵 ボイスコイル搭載ステージ
  ・X-DMQ-AEシリーズ(リニアエンコーダ内臓タイプ)

 

 

 

 

 

 

 X-XLRT−E , EC, C シリーズ 

特徴

  • 200 nmの分解能リニアエンコーダ内臓によるフルクローズドループ制御による高精度位置制御(最小移動単位:200nm)
  • エンコーダ(リニアアナログ式)分解能 1nm
  • ストローク長 12mm、精度4μm、
  • 最大推力 15.5 N、連続推力 12N
  • 推力制御モードにより推力の調整が可能
  • フルストローク25Hz、最高速度1400mm/s
  • コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

主な用途

  • 振動検査
  • 材料特性解析
  • ピック&プレイス
  • ビームラインディレイ
  • XYスキャニング(X-LRQへの搭載)
ストローク長 12 mm 
最大耐荷重 100 N(中心荷重)
最高速度
1500 mm/s
25 Hz(フルストローク)
最大推力 15.5N (連続:12N)
最高分解能 200 nm

X-DMQ12L-AE55D12 シリーズ データシート

(和文準備中です)

  型番仕様

CapD X-DMQ 12 L-AE55 D12 KX13A 2-6-2021 70%.jpg
- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

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