大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
高精度フルクローズドループ制御ステージ特集
Zaber社よりリニアエンコーダ内臓フルクローズドループ高精度ステージ発表！
これまでは分解能、繰り返し位置決め精度は満足でした。しかし位置決め精度がストローク毎に増加し、バックラッシュも反転時にキャンセルが必要です。
今回ご紹介する高精度ステージは、リニアエンコーダ、ロータリエンコーダでステージ位置をダイレクトに検出するフルクローズドループ制御により、600ｍｍで保証精度15μm、実績７〜８μm程度へ位置決め精度が大幅に向上しました。
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製品一覧
X-LRM-DEシリーズ 新製品
コンパクト・低床・高剛性リニアステージ
- 焼入れ鋼、循環式ボールベアリングガイドによる卓越した剛性と熱安定性
- 多軸ステージに最適
- リニアエンコーダ搭載フルクローズドループ高精度ステージ
簡易仕様表
| ストローク長 | 25 ～ 200 mm |
| 最高速度 | 100 mm/s |
| 分解能 | 47.625 nm |
| 位置決め精度 | ＜ 15 μm |
| 繰返精度 | < 1 μm |
高精度・低床・高剛性リニアステージ
- 最高速205mm/sの速度と最大100kgの耐荷重
- 200×256の優れたマイクロステップモータによる駆動は正確で滑らかな動きを提供します。
- -DECはステンレス製防塵カバー付き
- リニアエンコーダ搭載フルクローズドループ高精度ステージ
簡易仕様表
| ストローク長 | 75～600 mm |
| 最高速度 | 205 mm/s |
| 分解能 | 99.219 nm |
| 位置決め精度 | < 13 μｍ |
| 繰返精度 | < 2.5 μm |
X-DMQ-DEシリーズ 新製品
ボイスコイル搭載リニアステージ
- フルクローズドループ高精度制御
- ダイレクトドライブボイスコイル駆動による、連続動作時12N、最大17Nの推力
- ステージ部高さ30ｍｍなので、高さに制限のあるアプリケーションへ最適です。
- クロスローラベアリングは摩耗を低減します。
- 位置制御、速度制御の他、推力制御も可能
- フルストローク25Hz 位置決めステージとしてだけでなく、振動試験等にもご使用頂けます。
簡易仕様表
| ストローク長 | 12 mm |
| 最高速度 | 1500 mm/s フルストローク 25 Hz |
| 位置決め精度 | < 5 μm |
| 繰返精度 | < 2 μm |
高精度・電動ロータリステージ
- 0.2 arcsec分解能のダイレクトリーディングエンコーダによりステージ精度0.01度を実現
- 開口部はH8公差の50.8 mm（2インチ）
- スリップリングを使用することで、ジンバル等構成可能
- フルクローズドループ高精度制御
簡易仕様表
| 回転範囲 | 360° |
| 最高速度 | 24 °/s (4.0 rpm) |
| 分解能 | 0.00015625 deg |
| 位置決め精度 | < 0.01 deg |
| 繰返精度 | < 0.005 deg |
| -Line up - |
Arduino (アルディーノ）マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン＋シールドによる自動化
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