大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』

日本カンタム・デザイン株式会社

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営業時間：9:00〜17:00
（土日祝・年末年始・会社休業日を除く）

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵　高真空対応 高剛性 高推力 リニアステージ 　
　　　　　・X-LRQ-SV1シリーズ（10 -3トール対応）
　　　　　・X-LRQ-SV2シリーズ（10 -6トール対応）
CapD20201223 X-LRQ-SV2 70%.jpg
X-LRQ-SV1シリーズ
X-LRQ-SV2シリーズ  
CapD20201225_14 真空内でのデイジーチェーンのメリット 50%.jpg

デイジーチェーン接続で省配線化 

CapD20201229 X-PIB 50%.jpg

電源供給用ユニット：X-PIB

特徴

  • 最大耐荷重：100kg
  • 最大ストローク：600mm
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品：X-PIB


 
対応真空度
最大 10-3 トール：X-LRQ-SV1

最大 10-6 トール：X-LRQ-SV2

ストローク長
 		 75 mm 〜 600 mm

最大耐荷重
 		 最大 1000 N

最高速度
 		 205 mm/s

最大推力
 		 100 N

標準分解能
 		 99.21875 nm

>> X-LRQ-SV2データシート(PDF)　

>>英文マニュアル（Zaber社ウェブページ)　

（和文マニュアル準備中です。）

型番仕様

CapD_2 XLRQ-SV 70%.jpg

※型番にないストローク長、リードネジ仕様等ご要望ございましたらお問い合わせください。

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- Line up -

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