AML AML
(Arun Microelectronics, エイ・エム・エル社) 英国
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AML社UHVステッパーモータ、イオンゲージは海外のMBE装置や CVD装置に搭載され日本国内で稼働中。
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UHV高真空対応
ステッパーモータ/コントローラ
UHV高真空BA
イオンゲージ
UHV高真空
位置決めステージ
UHV高真空用
フィードスルーワイヤ
Titanium-Sublimation-Pump-Power-Supply    
チタン昇華ポンプ
コントローラ
納入実績と
主要アプリケーション
   
     
 
 
ZABER.jpg Zaber Technologies
(ゼイバー・テクノロジーズ社) カナダ
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Zaber社のデイジーチェーン接続による省配線化は真空機器で真価を発揮します!
 4ピンのフィードスルー1つだけで、複数のZaber製品を動作、制御可能です。
 さらに真空チャンバー内の配線も最小限にできる為、チャンバー内スペースを有効活用頂けます。

 

製品一覧 型番・写真をクリックすると詳細ページが表示されます。
 
X-LSM-SVシリーズ   X-LRQ-SVシリーズ   LSA-SVシリーズ
X-LSM-SV   X-LRQ-SV2   LSA-SV2
真空対応コンパクトリニアステージ
コントローラドライバー内臓
最高対応真空度:10-6トール
 
真空対応高剛性リニアステージ
コントローラドライバー内臓
最高対応真空度:10-6トール
 
真空対応ミニチュアリニアステージ
ストローク長:10mm、25mm
最高対応真空度:10-6トール
         
X-RSW-SVシリーズ    T-NA-SVシリーズ   TSB-Vシリーズ
X-RSW-SV    T-NA-SV   TSB-SV
真空対応ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
最高対応真空度:10-6トール
 
真空対応マイクロリニアアクチュエータ
コントローラドライバー内臓
高真空対応 10-6トール
 
真空対応可動ステージ
低真空対応 10-3トール
T-NA-SV1と組合せで自動化可能
         
T-MM-Vシリーズ        
T-MM-Vシリーズ        
真空対応電動2軸ミラーマウント
コントローラドライバー内臓
低真空対応 10-3トール
       

 

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煩雑なケーブルから解放!

Zaber社真空デバイスは1本のケーブルでデイジーチェーン接続できるので、真空容器内の貴重なスペースがフルに活用できます。

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真空チャンバー内でもデイジーチェーンが威力発揮

  • デバイスにはコントローラが内臓されているので、容易にデイジーチェーン接続できます。
  • 複数のデバイス用に1個のフィードスルーで十分です。
  • 電源もデイジーチェーン経由で供給されます。

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真空デバイスのパケージ作業状況

  • 高真空デバイスはUHV低排ガス(ULO®) 作業環境でポリエチレンバッグにパッケージングされます。
  • 高真空デバイスはクリーンルームにて2重のバッグに収納されます。
  • 低真空デバイスは収納バックが1式です。

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クリーンルームでの組み立て作業

  • すべての真空パーツは、超音波洗浄或は、イソプロピルアルコールによる手作業にて洗浄されます。
  • 洗浄の後はすべてのパーツは片づけられ、作業は常にグローブ装着作業にて行われます。
  • 高真空デバイスはクラス100(ISOクラス5)クリーンルーム内で組み立てられます。
  • 低真空デバイスはZaber社の通常組み立て工程にて実施されます。

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スペクトロスコピー用途

左写真では真空チャンバー内で、ターゲットや光学素子を精密に操作できるZaber社の低真空アクチュエータ及び搬送ステージを導入しています。

"Zaber社のアクチュエータを導入することで、真空チャンバー内でのデイジーチェーンにより、複雑なケーブル処理やプログラムについて悩むことがなくなり、実験に専念できるようになりました。これがZaber社デバイスを選んだ理由です。時は金なり!絶対おすすめです。"

- Dr. Fergal O'Reilly, Research Physics & Innovation Officer, University College Dublin Physics Department  

 
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