大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
AML社UHVステッパーモータ、イオンゲージは海外のMBE装置や CVD装置に搭載され日本国内で稼働中。30年以上経過したイオンゲージコントローラが稼働しています。（旧モデルのイオンゲージ＆ステージコントローラの修理も承っております。）
複合多軸装置納入実績
(データ準備中）
新製品情報
| AML最新版ソフトウェア更新 | 以下のソフトウェアの最新版がダウンロート頂けます。 |
| AML Device Control Software | 最新版 AMLデバイスコントロールソフトウェアのダウンロードサイト |
| NGC3 Software | 最新版 NGCS コントローラ制御ソフト への更新 |
| SMD3 C# API | 最新版 SMD3 C＃ ダウンロードサイト |
製品一覧 ※型番・写真をクリックすると詳細ページが表示されます。
X-LSM-SV1&2 シリーズ
真空対応コンパクトリニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度：10-3及び10-6トール
X-LRQ-SV1&2 シリーズ
真空対応高剛性リニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度：10-3及び10-6トール
LSA-SV1&2 シリーズ
真空対応ミニチュアリニアステージ
ストローク長：10mm、25ｍｍ
対応真空度：10-3及び10-6トール
X-RSW-SV1&2 シリーズ
真空対応ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度：10-3 及び10-6トール
Ｘ-RSM-SV1&2 シリーズ
真空対応小型ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度 10-3及び10-6トール
X-GSM-SV1&2 シリーズ
真空対応ミニチュアリニアステージ
ストローク長：10mm、25ｍｍ
対応真空度：10-3及び10-6トール
T-MM-Vシリーズ
真空対応電動2軸ミラーマウント
コントローラドライバー内臓
低真空対応 10-3トール
T-NA-SV1&2 シリーズ
真空対応リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵
対応真空度 10-3及び10-6 トール
X-VSR-SV1&2 シリーズ
真空対応Ｚ軸ステージ
コントローラ・ドライバー内蔵
対応真空度 10-3及び10-6トール
TSB-Vシリーズ
真空対応可搬ステージ（組み合わせ用） 低真空対応 10-3トール T-NA-SV1との組み合わせで自動化対応
X-NA-SV1&2 シリーズ
真空対応リニアアクチュエータ
Ｘシリーズコントローラ内蔵
対応真空度 10-3 及び10-6トール
| 対応真空度 | SV1タイプ：10 トール、SV2タイプ：10トール-3-6 |
| ベーキング温度 | 真空引き時間短縮や排ガス効率のために真空ベーキングが可能です。10以下の真空度にて、モデル別に以下の温度まで上げ、数時間かけて焼入れしてください。 ベーキング温度： モデルT-LSM-SVステージ：80℃ モデルT-NA-SVアクチュエータ：110℃ 注記：上記温度を超えると、内部のポリマー部材が永久損傷を受ける恐れがありますので、ご注意ください。 -3 |
| Zaber社技術資料 | ＞＞真空アプリケーションのためのモーションデバイス設計の考慮事項 |
煩雑なケーブルから解放！
Zaber社真空デバイスは1本のケーブルでデイジーチェーン接続できるので、真空容器内の貴重なスペースがフルに活用できます。
真空デバイスのパケージ作業状況
- 高真空デバイスはＵＨＶ低排ガス(ULO®) 作業環境でポリエチレンバッグにパッケージングされます。
- 高真空デバイスはクリーンルームにて2重のバッグに収納されます。
- 低真空デバイスは収納バックが1式です。
真空チャンバー内でもデイジーチェーンが威力発揮
- デバイスにはコントローラが内臓されているので、容易にデイジーチェーン接続できます。
- 複数のデバイス用に1個のフィードスルーで十分です。
- 電源もデイジーチェーン経由で供給されます。
クリーンルームでの組み立て作業
- すべての真空パーツは、超音波洗浄或は、イソプロピルアルコールによる手作業にて洗浄されます。
- 洗浄の後はすべてのパーツは片づけられ、作業は常にグローブ装着作業にて行われます。
- 高真空デバイスはクラス100（ＩＳＯクラス５）クリーンルーム内で組み立てられます。
- 低真空デバイスはZaber社の通常組み立て工程にて実施されます。
スペクトロスコピー用途
左写真では真空チャンバー内で、ターゲットや光学素子を精密に操作できるZaber社の低真空アクチュエータ及び搬送ステージを導入しています。 "Zaber社のアクチュエータを導入することで、真空チャンバー内でのデイジーチェーンにより、複雑なケーブル処理やプログラムについて悩むことがなくなり、実験に専念できるようになりました。これがＺａｂｅｒ社デバイスを選んだ理由です。時は金なり！絶対おすすめです。" - Dr. Fergal O'Reilly, Research Physics & Innovation Officer, University College Dublin Physics Department 低真空アクチュエータ
- 製品カテゴリー > 光学素子
- 製品カテゴリー > カラーセンサー
- Legacy Products