Zaber 『X-LRQ-DEC & DEシリーズ』高剛性ステージ

大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『テクノロジーリンク株式会社』

精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵　低床高剛性ステージ

　　　・X-LRQ-DEC & X-LRQ-DE シリーズ
　　　（リニアエンコーダ内蔵・"C" 防塵カバー付き）

外付けコントローラタイプも御用意しております。　真空対応仕様はこちら　

X-LRQ-DEC フルクローズドループ制御！

防塵カバー付きタイプ

モータ並列設置仕様

特徴耐荷重100kgの高剛性ステージステンレス製の防塵カバータイプあり駆動モータの配置はライン上設置、又は並列設置の2タイプロータリーエンコーダ内臓タイプでは、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付きリニアエンコーダ内臓タイプでは、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き、13μm以上の位置決め精度コントローラ内蔵、他Zaber製品とデイジーチェーン接続が可能
ストローク長	75 , 150 , 300 , 450 , 600 mm
最大負荷容量(耐荷重)	1000 N
最高速度	840 mm/s
最大推力(トルク)	110 N
最小標準分解能	0.09921875 μm
X-LRQ-DEC シリーズデータシート (PDF)
>>X-LRQ-DEC ユーザマニュアル (和文PDF)
>>X-LRQ-DEC Manual (PDF)
全てのモデルにモータ直列（インライン）&並列（パラレルライン）選択可