大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 高剛性 高推力 リニアステージ ・X-LRQ-SV1シリーズ(10 -3トール対応) ・X-LRQ-SV2シリーズ(10 -6トール対応) |
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
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対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-LRQ-SV1 最大 10-6 トール:X-LRQ-SV2 |
ストローク長 | 75 mm 〜 600 mm |
最大耐荷重 | 最大 1000 N |
最高速度 | 205 mm/s |
最大推力 | 100 N |
標準分解能 | 99.21875 nm |
(和文マニュアル準備中です。) |