大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』

日本カンタム・デザイン株式会社

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営業時間:9:00〜17:00
(土日祝・年末年始・会社休業日を除く)

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

高真空対応 高分解能 ミニチュアステージ  
   ・LSA-V1シリーズ(10 -3トール対応)
   ・LSA-V2シリーズ(10 -6トール対応)
CapD20201223_2 LSA-V2 70%.jpg
ストローク長10mmタイプ
ストローク長25mmタイプ
CapD X-MCC1 50%.jpg

外付けコントローラ:X-CC1

特徴

  • 非常にコンパクトな為、チャンバー内のスペースを有効活用できます。
  • ストローク長は10mm、25mm
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途コントローラが必要:X-MCC1


 

対応真空度
-V1:最大 10 -3トール
-V2:最大 10-6 トール 

ストローク長
 
10mm、25mm

最高速度
 
10 mm/s

最大推力
 
35 N

標準分解能
 
23.8 nm

>>英文 LSA-V1(V2)データシート(PDF) 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

型番仕様

CapD20201229_3 LSA-V.jpg
- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化