大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
高真空対応 高分解能 ミニチュアステージ ・LSA-V1シリーズ(10 -3トール対応) ・LSA-V2シリーズ(10 -6トール対応) |
特徴
| |
対応真空度 | -V1:最大 10 -3トール -V2:最大 10-6 トール |
ストローク長 | 10mm、25mm |
最高速度 | 10 mm/s |
最大推力 | 35 N |
標準分解能 | 23.8 nm |