大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応ロータリーステージ ・X-RSW-SV1シリーズ(10-3 トール対応) ・X-RSW-SV2シリーズ(10-6 トール対応) |
X-RSW-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
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対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-RSW-SV1 最大 10-6 トール:X-RSW-SV2 |
ステージ外径 | 60 mm |
最大耐荷重 | 最大 200 N |
最高速度 | 100 °/s |
最大トルク | 100 N-cm |
標準分解能 | 0.000234375 ° |
(和文マニュアルは準備中)
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