大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応ロータリーステージ (小型ロータリーステージ) ・X-RSM-SV1シリーズ(10-3 トール対応) ・X-RSM-SV2シリーズ(10-6 トール対応) |
X-RSW-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-RSM㎜ピッチ-SV1 最大 10-6 トール:X-RS㎜ピッチ-SV2 |
ステージサイズ | 40 x 40 mm |
最大耐荷重 | 最大 50 N |
最高速度 | 120 °/s |
最大トルク | 20 N-cm |
初期値分解能 | 0.00046875 ° |
(和文マニュアルは準備中)
|