大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 ティルトステージ X-GSM40-SV1シリーズ(10-3 トール対応) / X-GSM40-SV2シリーズ(10-6 トール対応) X-GSM60-SV1シリーズ (10-3トール対応)/ X-GSM60-SV2 シリーズ(10-6 トール対応) |
X-GSM-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-GSM㎜ピッチ-SV1GSM 最大 10-6 トール:X-GAME㎜ピッチ-SV2 |
ステージサイズ | 40 x 40 mm |
最大耐荷重 | 最大 50 N |
最高速度 | 10 °/s, 7°/s |
可動範囲 | 20 N-cm |
標準分解能 | 0.0001131413 171° |
(和文マニュアルは準備中)
|
型番仕様
- Line up - |
Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化