大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『テクノロジーリンク株式会社』
Zaber 『X-LDM-AE』シリーズ高精度リニアモータ駆動駆動ステージ、精度＜1μm、制御ピッチ25μm モデル：
精密電動リニアステージ(X-シリーズ)
| コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場！！ 高精度リニアモータ駆動ステージ（高精度リニアエンコーダ内蔵） ・X-LDM-AEシリーズ（高精度：<1 μm、分解能：25nm） |
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| 特徴
主な用途
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| ストローク長 | 60mm, 110mm, 210mm |
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| 最大中心荷重 | 120 N (約12Kg) |
| 最高速度 最高加速度 | 1200 mm/s 34.3m/s 2 |
| 最大推力 | 60 N |
| 最小移動単位、繰り返し精度 | 25 nｍ, <0.08 μm |
| >>リニアモータ駆動リニアステージ選択表 | ||
| >>X-LDＭ-AE Manual_E(PDF) **和文マニュアル準備中です。出来次第さし換えます。 | ||
| 型番仕様 |
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| -Line up - |
Arduino (アルディーノ）マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン＋シールドによる自動化
