大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密電動リニアステージ(X-シリーズ)
コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!! 高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) ・X-LDM-AEシリーズ(高精度:<1 μm、分解能:25nm) |
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特徴
主な用途
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ストローク長 | 60mm, 110mm, 210mm |
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最大中心荷重 | 120 N (約12Kg) |
最高速度 最高加速度 | 1200 mm/s 34.3m/s 2 |
最大推力 | 60 N |
最小移動単位、繰り返し精度 | 25 nm, <0.08 μm |