大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『テクノロジーリンク株式会社』

Zaber 『X-LDM-AE』シリーズ高精度リニアモータ駆動駆動ステージ、精度<1μm、制御ピッチ25μm モデル:

精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!!
高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) 
・X-LDM-AEシリーズ(高精度:<1 μm、分解能:25nm)
特徴
  • 位置決め分解能<1 nmの高精度リニアステーが登場しました。
  • 高精度アナログリニアエンコーダ内蔵
  • ストローク長 60, 110, 210mm
  • 最高分解能(最少移動単位) 1nmG
  • 繰り返し精度 <80nm (0.08μm)
  • 位置決め精度 < 1μm
  • 最高速度1200mm/s 最大加速度:3.5G
  • コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

主な用途

  • 画像解析等低振動搬送用途 
  • 高速・高精度搬送用途 
  • ピック&プレイス
  • ビームラインディレイ
  • 高速XYスキャニング(XY軸構成にて) 
ストローク長 60mm, 110mm, 210mm
最大中心荷重 120 N (約12Kg) 
最高速度 最高加速度
1200 mm/s 
34.3m/s  2
最大推力 60 N
最小移動単位、繰り返し精度 25 nm, <0.08 μm
>>リニアモータ駆動リニアステージ選択表

X-LDM-AEシリーズデータシート

  >>X-LDM-AE Manual_E(PDF)  
**和文マニュアル準備中です。出来次第さし換えます。
 型番仕様
CapD X-LDM選択表2.jpg
CapD精度表2.jpg
-Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

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