大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
コンパクトミニチュアタイプ
ストローク長 10~25mm
最高速度 10mm/s
分解能 23.8125nm
繰返し速度 <1 um
マニュアルステージ
リニアアクチュエータ取り付けブラケット付(メートル、インチあり) ストローク:25~60mm 分解能:10μm (マイクロメータ仕様)
コンパクト・標準ステージ
ストローク長 25~200mm
最高速度 104mm/s
分解能 47.625nm
繰返し速度 <1 um
コンパクト・低床・高剛性
ストローク長 25~200mm
最高速度 100mm/s
分解能 47.625nm
繰返し速度 <1 um
エコノミータイプ・安価軽量
ストローク長 25~200mm
最高速度 65mm/s
分解能 124.02nm
繰返し速度 <4 um
高速ステージ・作業効率化に最適
ストローク長 75~600mm
最高速度 1000mm/s
分解能 99.219nm
繰返し速度 <2.5 um
フルクローズド高精度タイプ有
ストローク長 75~600mm
最高速度 840mm/s
分解能 99.219nm
繰返し速度 <2.5um
高剛性ロングストロークタイプ
ストローク長 100~1500mm
最高速度 360mm/s
分解能 0.124023nm
繰返し速度 <2um