大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密電動ロータリーステージ
外部コントローラ制御 高精度、高分解能ステージ ・RST120AK-E03 (モーターエンコーダ内臓タイプ) |
特徴
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ステージ直径 | 120 mm |
精度 | RST120AK-E03:0.16 deg |
繰返し精度 | < 0.005 deg |
最大耐荷重 | 500 N |
最高速度 | 24 deg/s |
最大トルク | 1000 N-cm |
標準分解能 | 0.00015625 deg |