大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 リニアアクチュエータ X-NA08A25-SV1シリーズ(10 -3トール対応) / X-NA08A25-SV2シリーズ(10 -6トール対応) X-NA08A50-SV1シリーズ(10-3トール対応) / T-NA08A50-SV2 シリーズ(10-6トール対応) |
X-NA08A-SVシリーズ
モータの温度上昇状況を熱電対で測定フィードバック
(オプション)
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
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対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-NA08A25-SV1 X-NA08A50-SV1 最大 10-6 トール:X-NA08A50-SV2 X-NA08A50-SV2 |
プランジャーストローク | 25mm 及び 50 mm |
最大推力 | 最大 25N |
最高速度 | 30mm/s |
繰返し精度 | < 1 μm |
初期値分解能 | 0.047625μm |
(和文資料準備中) |