大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』

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モデル:D57.1 UHV超高真空対応ステッパーモータ 『テクノロジーリンク株式会社』

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AML
(Arun Microelectronics, エイ・エム・エル社) 英国

■UHV高真空対応ステッパーモータ/コントローラ

型番:DシリーズUHVモータ

特別仕様モータご提供:

Dタイプモータのボディはダイヤモンド様炭素(DLC)によるプラズマ誘起化学蒸着法にてシリコンスティールラミネート加工がされています。内部の標準ベアリングはSUS材でわずかな量のパーフルオロポリエーテルグリース(UHV用グリース)にて潤滑していますがドライ潤滑用に二硫化タングステンやハイブリッドベアリングを使用したモータのご提供もお請けいたします。

納入実績:AML社UHVモータは英国の3GeVダイアモンド光源シンクロトロンをはじめ世界中の研究所にて活用されています。

  1. UHV真空モータの応用:VCSMの使用法について、特に温度管理による排ガス制御について記載。
  2. UHVモータに掛かる荷重:VCSM組み込み設計での荷重計算用資料。
  3. Magnetic Leakage Field: VCSM の漏洩磁場に関して
  4. Dシリーズモータの真空性能:Dシリーズの排ガステスト結果

>>UHV真空モータ(VCSM)の応用(PDF)

>>UHVモータに掛かる荷重について(PDF)

>>Magnetic leakage field ※漏洩磁場データ(PDF)

>> Dシリーズモータの真空性能(PDF)

型番:D57.1  UHVステッパ―モータ 800mNm, NEMA 23
  • 1 x 10-10 mBar(7.5 x 10-11 Torr)未満での使用に最適
  • AMLドライブを使用して高トルクおよびステップレートで真空中で連続運転
  • ベーキング温度200°Cまで可
  • ステップ角1.8°、ステップ角公差±5%
  • 操作温度範囲 -65°C to +175°C
  • 極低温拡張動作温度オプションが利用可能, 低温タイプは77K(-196°C + 175°C)対応 
  • 熱電対内蔵またはPT100センサー選択可
  • すべての内部スペースが通気されたオープン構造 

  • NyeTorr®6300超低ガス放出UHVグリースで潤滑されたオープンハイブリッドセラミックベアリング 極低温拡張動作温度オプションが利用可能、範囲は-196°C  + 175°C

  • 耐放射線強化(1x 10 Gy)6タイプもあります。
  • 乾式潤滑(二硫化タングステン)ハイブリッド窒化ケイ素セラミックベアリングオプションが利用可能
  • 特別仕様シャフトタイプも対応可

>>データシート(PDF)

 

>>速度・トルクデータ(PDF)

モデル名 モデルD35.1特別仕様 定価
D57.1 D43.1、UHV ステッパーモータ、70mNm (基本モデル) ¥193,000
D57.1-H D43.1、乾式潤滑ハイブリッドセラミックベアリング + ¥16,000
D57.1-R D43.1、ガンマ線耐 +¥16,000
D57.1-X D43.1、シャフト変更(特別仕様シャフト)  +¥20,000
D57.1-C D43.1、極低温-196°C + 175°C対応モデル  +¥16,000
D57.1-P D43.1、熱電対の代わりにPT100温度センサーを備えたタイプ +¥8,000
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