大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
真空対応 可動標準ステージ ・TSB-Vシリーズ(10-3トール対応) |
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10 トール |
ストローク長 | 28mm、60mm |
最大耐荷重 | 100 N |
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応コンパクト標準ステージ ・X-LSM-SV1シリーズ(10-3 トール対応) ・X-LSM-SV2シリーズ(10-6 トール対応) |
X-LSM-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-LSM-SV1 最大 10-6 トール:X-LSM-SV2 -6 |
ストローク長 | 25mm〜200mm |
最大耐荷重 | 最大 100 N |
最高速度 | 100 mm/s |
最大推力 | 25 N |
標準分解能 | 47.6 nm |
(和文マニュアルは準備中) |
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 リニアアクチュエータ T-NA08A25-SV1シリーズ(10-3 トール対応) / T-NA08A25-SV2シリーズ(10-6 トール対応) T-NA08A25-SV1シリーズ(10-3トール対応) / T-NA08A25-SV2 シリーズ(10-6トール対応) |
T-NA08A-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:T-NA08A25-SV1 T-NA08A50-SV1 最大 10-6 トール:T-NA08A50-SV2 T-NA08A50-SV2 |
ストローク長 | 25mm 及び 50 mm |
最大耐荷重 | 最大 46 N |
最高速度 | 8mm/s |
最大推力 | < 1 μm |
標準分解能 | 0.047625μm |
(和文マニュアルは準備中) |
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ(Tシリーズ)
型番:T-MM-Vシリーズ |
低真空環境適応 10トール-3
Cマウントアダプターや 1"(25mm)及び 1/2"(12.5mm)光学素子用のアダプターも用意されています。コントローラ内蔵、他のTシリーズ製品とデイジーチェーン接続可 | |
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 高剛性 高推力 リニアステージ ・X-LRQ-SV1シリーズ(10 -3トール対応) ・X-LRQ-SV2シリーズ(10 -6トール対応) |
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-LRQ-SV1 最大 10-6 トール:X-LRQ-SV2 |
ストローク長 | 75 mm 〜 600 mm |
最大耐荷重 | 最大 1000 N |
最高速度 | 205 mm/s |
最大推力 | 100 N |
標準分解能 | 99.21875 nm |
(和文マニュアル準備中です。) |
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
高真空対応 高分解能 ミニチュアステージ ・LSA-V1シリーズ(10 -3トール対応) ・LSA-V2シリーズ(10 -6トール対応) |
特徴
| |
対応真空度 | -V1:最大 10 -3トール -V2:最大 10-6 トール |
ストローク長 | 10mm、25mm |
最高速度 | 10 mm/s |
最大推力 | 35 N |
標準分解能 | 23.8 nm |
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応ロータリーステージ ・X-RSW-SV1シリーズ(10-3 トール対応) ・X-RSW-SV2シリーズ(10-6 トール対応) |
X-RSW-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-RSW-SV1 最大 10-6 トール:X-RSW-SV2 |
ステージ外径 | 60 mm |
最大耐荷重 | 最大 200 N |
最高速度 | 100 °/s |
最大トルク | 100 N-cm |
標準分解能 | 0.000234375 ° |
(和文マニュアルは準備中)
|
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応ロータリーステージ (小型ロータリーステージ) ・X-RSM-SV1シリーズ(10-3 トール対応) ・X-RSM-SV2シリーズ(10-6 トール対応) |
X-RSW-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-RSM㎜ピッチ-SV1 最大 10-6 トール:X-RS㎜ピッチ-SV2 |
ステージサイズ | 40 x 40 mm |
最大耐荷重 | 最大 50 N |
最高速度 | 120 °/s |
最大トルク | 20 N-cm |
初期値分解能 | 0.00046875 ° |
(和文マニュアルは準備中)
|
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 ティルトステージ X-GSM40-SV1シリーズ(10-3 トール対応) / X-GSM40-SV2シリーズ(10-6 トール対応) X-GSM60-SV1シリーズ (10-3トール対応)/ X-GSM60-SV2 シリーズ(10-6 トール対応) |
X-GSM-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-GSM㎜ピッチ-SV1GSM 最大 10-6 トール:X-GAME㎜ピッチ-SV2 |
ステージサイズ | 40 x 40 mm |
最大耐荷重 | 最大 50 N |
最高速度 | 10 °/s, 7°/s |
可動範囲 | 20 N-cm |
標準分解能 | 0.0001131413 171° |
(和文マニュアルは準備中)
|
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応Z軸ステージ ・X-VSR20-SV1, X-VSR40-SV1シリーズ(10 -3トール対応) ・X-VSR20-SV2, X-VSR40-SV2シリーズ(10 -6トール対応) |
X-RSW-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-VSR㎜ピッチ-SV1 最大 10-6 トール:X-VSR㎜ピッチ-SV2 |
ストローク | 20mm, 40 mm |
最大耐荷重 | 最大 100 N |
最高速度 | 48mm/s |
最大トルク | 200N |
標準分解能 | 0.09525 ° |
|
真空精密ステージ・リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 リニアアクチュエータ X-NA08A25-SV1シリーズ(10 -3トール対応) / X-NA08A25-SV2シリーズ(10 -6トール対応) X-NA08A50-SV1シリーズ(10-3トール対応) / T-NA08A50-SV2 シリーズ(10-6トール対応) |
X-NA08A-SVシリーズ
モータの温度上昇状況を熱電対で測定フィードバック
(オプション)
電源供給用ユニット:X-PIB
特徴
| |
対応真空度 | 最大 10-3 トール:X-NA08A25-SV1 X-NA08A50-SV1 最大 10-6 トール:X-NA08A50-SV2 X-NA08A50-SV2 |
プランジャーストローク | 25mm 及び 50 mm |
最大推力 | 最大 25N |
最高速度 | 30mm/s |
繰返し精度 | < 1 μm |
初期値分解能 | 0.047625μm |
(和文資料準備中) |