真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

真空対応 可動標準ステージ  
   ・TSB-Vシリーズ(10-3トール対応)

TSB-Vシリーズ

リニアアクチュエータ接続により自動化可能 


 

特徴

  • 最大耐荷重:10kg
  • インチ、メートル両方に対応します。
  • T-NA-SVシリーズを組合わせることで自動化可能です。


     

対応真空度
 
最大 10 トール

ストローク長
 
28mm、60mm

最大耐荷重
 
100 N


>>英文 TSB-Vデータシート(PDF) 翻訳中
 

- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

ントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応コンパクト標準ステージ  
     ・X-LSM-SV1シリーズ(10-3 トール対応)
     ・X-LSM-SV2シリーズ(10-6 トール対応)

X-LSM-SVシリーズ  

デイジーチェーン接続で省配線化 

電源供給用ユニット:X-PIB



特徴
  • 最大耐荷重:10kg
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB


     
対応真空度
最大 10-3 トール:X-LSM-SV1

 最大 10-6 トール:X-LSM-SV2 -6


ストローク長
 
25mm〜200mm

最大耐荷重
 
最大 100 N

最高速度
 
100 mm/s

最大推力
 
25 N

標準分解能
 
47.6 nm


>> X-LSM-SV1&2 データシート&(PDF) 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

(和文マニュアルは準備中)
 

型番仕様

CapD X-LSM-SV 50%.jpg
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CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 リニアアクチュエータ 
T-NA08A25-SV1シリーズ(10-3 トール対応) / T-NA08A25-SV2シリーズ(10-6 トール対応) 
T-NA08A25-SV1シリーズ(10-3トール対応)  / T-NA08A25-SV2 シリーズ(10-6トール対応) 

 T-NA08A-SVシリーズ  

デイジーチェーン接続で省配線化

電源供給用ユニット:X-PIB

特徴

  • ストローク:T-NA08A25-SV(25mm), T-NA08A50-SV (50mm) 
  • 送り速度:8mm/秒 推力:46N
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB


 

対応真空度
最大 10-3 トール:T-NA08A25-SV1
                          T-NA08A50-SV1
最大 10-6 トール:T-NA08A50-SV2 
                         T-NA08A50-SV2

ストローク長
 
25mm 及び 50 mm

最大耐荷重
 
最大 46 N

最高速度
 
8mm/s

最大推力
 
< 1 μm

標準分解能
 
0.047625μm

>>T-NA08A-SV2データシート(PDF) 

>>T-NA08A-SV1 データシート(PDF) 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

(和文マニュアルは準備中)

型番仕様

CapD20180910.jpg
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>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ(Tシリーズ)

型番:T-MM-Vシリーズ
低真空環境適応 10トール-3
  • 2軸制御の力学的光学マウント
  • 稼働範囲は +/-5度
  • 繰り返し精度は最高 0.0005度
  • 2インチ(50mm)の光学素子を取付可

Cマウントアダプターや 1"(25mm)及び 1/2"(12.5mm)光学素子用のアダプターも用意されています。コントローラ内蔵、他のTシリーズ製品とデイジーチェーン接続可

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>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 高剛性 高推力 リニアステージ  
     ・X-LRQ-SV1シリーズ(10 -3トール対応)
     ・X-LRQ-SV2シリーズ(10 -6トール対応)
X-LRQ-SV1シリーズ
X-LRQ-SV2シリーズ  

デイジーチェーン接続で省配線化 

電源供給用ユニット:X-PIB

特徴

  • 最大耐荷重:100kg
  • 最大ストローク:600mm
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB


 

対応真空度
最大 10-3 トール:X-LRQ-SV1

最大 10-6 トール:X-LRQ-SV2


ストローク長
 
75 mm 〜 600 mm

最大耐荷重
 
最大 1000 N

最高速度
 
205 mm/s

最大推力
 
100 N

標準分解能
 
99.21875 nm

>> X-LRQ-SV2データシート(PDF) 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

(和文マニュアル準備中です。)

型番仕様

CapD_2 XLRQ-SV 70%.jpg
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>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

高真空対応 高分解能 ミニチュアステージ  
   ・LSA-V1シリーズ(10 -3トール対応)
   ・LSA-V2シリーズ(10 -6トール対応)
ストローク長10mmタイプ
ストローク長25mmタイプ

外付けコントローラ:X-CC1

特徴

  • 非常にコンパクトな為、チャンバー内のスペースを有効活用できます。
  • ストローク長は10mm、25mm
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途コントローラが必要:X-MCC1


 

対応真空度
-V1:最大 10 -3トール
-V2:最大 10-6 トール 

ストローク長
 
10mm、25mm

最高速度
 
10 mm/s

最大推力
 
35 N

標準分解能
 
23.8 nm

>>英文 LSA-V1(V2)データシート(PDF) 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

型番仕様

CapD20201229_3 LSA-V.jpg
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Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応ロータリーステージ  
     ・X-RSW-SV1シリーズ(10-3 トール対応)
     ・X-RSW-SV2シリーズ(10-6 トール対応)

X-RSW-SVシリーズ

デイジーチェーン接続で省配線化 

電源供給用ユニット:X-PIB


特徴
  • 最大耐荷重:20kg
  • 光学素子ローテーターマウントとしても使用可能
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB
対応真空度
最大 10-3 トール:X-RSW-SV1

最大 10-6 トール:X-RSW-SV2 


ステージ外径
 
60 mm

最大耐荷重
 
最大 200 N

最高速度
 
100 °/s

最大トルク
 
100 N-cm

標準分解能
 
0.000234375 °

>>X-RSW-SV1・SV2データシート(PDF)

 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

(和文マニュアルは準備中)

 

型番仕様

CapD X-RSW60 -SV.jpg
- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応ロータリーステージ 
               (小型ロータリーステージ) 
     ・X-RSM-SV1シリーズ(10-3 トール対応)
     ・X-RSM-SV2シリーズ(10-6 トール対応)

X-RSW-SVシリーズ

デイジーチェーン接続で省配線化 

電源供給用ユニット:X-PIB


特徴
  • 最大中心荷重:50N (約5kg)
  • 光学素子ローテーターマウントとしても使用可能
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB
対応真空度
最大 10-3 トール:X-RSM㎜ピッチ-SV1
最大 10-6 トール:X-RS㎜ピッチ-SV2 

ステージサイズ
 
40 x 40 mm

最大耐荷重
 
最大 50 N

最高速度
 
120 °/s

最大トルク
 
20 N-cm

初期値分解能
 
0.00046875 °

>>X-RSM-SV1・SV2データシート(PDF) 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

  (和文マニュアルは準備中)

 

型番仕様

- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

Zaber 真空精密ゴニオメータステージX-GSM-SVシリーズ

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 ティルトステージ 
X-GSM40-SV1シリーズ(10-3  トール対応) / X-GSM40-SV2シリーズ(10-6  トール対応) 
X-GSM60-SV1シリーズ (10-3トール対応)/ X-GSM60-SV2 シリーズ(10-6 トール対応) 


X-GSM-SVシリーズ
 

デイジーチェーン接続で省配線化 

電源供給用ユニット:X-PIB



特徴
  • 最大中心荷重:30N(3Kg) 
  • 光学素子ローテーターマウントとしても使用可能
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB
     
対応真空度
最大 10-3 トール:X-GSM㎜ピッチ-SV1GSM

最大 10-6 トール:X-GAME㎜ピッチ-SV2 


ステージサイズ
 
40 x 40 mm

最大耐荷重
 
最大 50 N

最高速度
 
10 °/s, 7°/s

可動範囲
 
20 N-cm

標準分解能
 
0.0001131413 171°

>>X-GSM-SV2データシート(PDF) 

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

(和文マニュアルは準備中)

 

型番仕様

CapD X-RSM-SV_8-05-18.jpg
- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応Z軸ステージ  
 ・X-VSR20-SV1, X-VSR40-SV1シリーズ(10 -3トール対応)
 ・X-VSR20-SV2, X-VSR40-SV2シリーズ(10 -6トール対応)

X-RSW-SVシリーズ

デイジーチェーン接続で省配線化 

電源供給用ユニット:X-PIB


特徴
  • 最大トルク:20kg(200N)
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB
対応真空度
最大 10-3 トール:X-VSR㎜ピッチ-SV1
最大 10-6 トール:X-VSR㎜ピッチ-SV2 

ストローク
 
20mm, 40 mm

最大耐荷重
 
最大 100 N

最高速度
 
48mm/s

最大トルク
 
200N

標準分解能
 
0.09525 °

>>X-VSR-SV2データシート(PDF)

>>英文マニュアル(Zaber社ウェブページ) 

 

型番仕様

- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

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Zaber『X-NAxx-SVシリーズ』真空仕様精密リニアアクチュエータ(最新モデル)

真空精密ステージ・リニアアクチュエータ

コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応 リニアアクチュエータ 
X-NA08A25-SV1シリーズ(10 -3トール対応) / X-NA08A25-SV2シリーズ(10 -6トール対応)
X-NA08A50-SV1シリーズ(10-3トール対応)  / T-NA08A50-SV2 シリーズ(10-6トール対応) 

X-NA08A-SVシリーズ  

モータの温度上昇状況を熱電対で測定フィードバック 
(オプション)  

電源供給用ユニット:X-PIB



特徴
  • ストローク:X-NA08A25-SV(25mm), X-NA08A50-SV (50mm) 
  • 送り速度:30mm/秒 推力:25N
  • コントローラ、ドライバー内蔵
  • デイジーチェーン接続による省配線
  • 他Zaber製品と1つの電源を共有可能
  • 別途電源供給が必要。推奨製品:X-PIB
     
対応真空度
最大 10-3 トール:X-NA08A25-SV1
                          X-NA08A50-SV1
最大 10-6 トール:X-NA08A50-SV2
                         X-NA08A50-SV2

プランジャーストローク
 
25mm 及び 50 mm

最大推力
 
最大 25N

最高速度
 
30mm/s

繰返し精度
 
< 1 μm

初期値分解能
 
0.047625μm

>>X-NA08A-SV1 データシート (PDF) 

>>X-NA08A-SV2 データシート(PDF) 

>>英文マニュアル(X-NA08A-SV2 )  

(和文資料準備中)

型番仕様

CapD20191206_7 型番仕様写真 .jpg
- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg