大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密Z軸(昇降)ステージ
型番:X-VSRシリーズ モータエンコーダ内蔵、Z軸ステージ モデル:X-VSR20A-E01 |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大トルク | 200N |
最大連続中心荷重 | 100N |
最大カンチレバー荷重 | 300N-cm |
最高送り速度 | 48 mm/sec |
ストローク | 20 mm |
モータエンコーダ内蔵 | 矩形波四分割、500CPR |
荷重搭載時(10N) 精度 | 35 μm |
最低速度 | 0.000058 mm/s |
X-VSR20A-E01 データシート(和文) | 速度分解能 | 0.000058 mm/s |
最大電流値 | 950mA | |
X-VSR20A-E01 Manual (pdf) | 推奨コントローラ | コントローラ内蔵 |
型番仕様 |
精密Z軸(昇降)ステージ
型番:X-VSRシリーズ コントローラ内蔵、Z軸ステージ モデル:X-VSR20A |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大トルク | 200N |
最大連続中心荷重 | 100N |
最大カンチレバー荷重 | 300N-cm |
最高送り速度 | 48 mm/sec |
ストローク | 20 mm |
内蔵モータエンコーダ | なし |
荷重搭載時(10N) 精度 | 35 μm |
最低速度 | 0.000058 mm/s |
>> X-VSR20A & 40A データシート(和文) | 速度分解能 | 0.000058 mm/s |
最大電流値 | 950mA | |
(和文マニュアル準備中) | 推奨コントローラ | コントローラ内蔵 |
型番仕様 |
精密Z軸(昇降)ステージ
型番:VSRシリーズ モータエンコーダ内蔵、Z軸ステージ モデル:VSR20A-E01 |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大トルク | 200N |
最大連続中心荷重 | 100N |
最大カンチレバー荷重 | 300N-cm |
最高送り速度 | 55 mm/sec |
ストローク | 20 mm |
モータエンコーダ内蔵 | 矩形波四分割、500CPR |
荷重搭載時(10N) 精度 | 35 μm |
最低速度 | 0.000058 mm/s |
速度分解能 | 0.000058 mm/s |
VSR20A-E01 データシート(和文) | 最大電流値 | 950mA |
推奨コントローラ | 推奨外部コントローラ X-MCC1 |
型番仕様 |
精密Z軸(昇降)ステージ
型番:VSR シリーズ昇降(Z軸)ステージ モデル:VSR-20A |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大荷重 | 20 Kg |
最高送り速度 | 48 mm/sec |
推奨コントローラ | 推奨外部コントローラ |
型番仕様 |
精密Z軸(昇降)ステージ
型番:X-VSR シリーズ昇降(Z軸)ステージ モデル:X-VSR40A |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大荷重 | 20 Kg |
最高送り速度 | 48 mm/sec |
ストローク | 40 mm |
推奨コントローラ | コントローラ内蔵 |
型番仕様 |
精密Z軸(昇降)ステージ 40mm 長作動
型番:VSR シリーズ昇降(Z軸)ステージ モデル:VSR-40A-T3 |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大荷重 | 20 Kg |
最高送り速度 | 55 mm/sec |
最低速度 | 0.00058mm/s |
可動範囲 | 40 mm |
位置決め精度(単一方向) | 35μm |
バックラッシュ | <120μm |
積載時バックラッシュ | <10μm |
最大トルク | 200 N |
最大連続トルク | 100 N |
最大カンチレバー荷重 | 300 N-cm |
VSR40A-T3データシート.pdf | 推奨コントローラ | X-MCC1 |
型番仕様 |