大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密電動リニアステージ(X-シリーズ)
コントローラ・ドライバー内蔵 高速低振動リニアモータ駆動ステージ ・X-LDQ-AEシリーズ(リニア(アナログ出力)エンコーダ内臓タイプ) |
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特徴
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主な用途
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ストローク長 | 75~1000 mm |
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最大中荷重 | 200 N |
最高速度 最高加速度 | 1500 mm/s 19.62m/s 2 |
最大推力 | 40 N |
最高分解能 | 50 nm |
精密電動リニアステージ(X-シリーズ)
コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!! 高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) ・X-LDM-AEシリーズ(高精度:<1 μm、分解能:25nm) |
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特徴
主な用途
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ストローク長 | 60mm, 110mm, 210mm |
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最大中心荷重 | 120 N (約12Kg) |
最高速度 最高加速度 | 1200 mm/s 34.3m/s 2 |
最大推力 | 60 N |
最小移動単位、繰り返し精度 | 25 nm, <0.08 μm |
精密電動リニアステージ(X-シリーズ)
コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!! 高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) ・X-LDA-AEシリーズ(高精度:A<1.5 μm、分解能:20nm) |
特徴
主な用途
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ストローク長 | 25, 75, 150mm |
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最大中心荷重 | 100 N (約10Kg) |
最高速度 最高加速度 | 800 mm/s 39.2m/s 2 |
最大推力 | 13 N |
最小移動単位、繰り返し精度 | 20 nm, <0.2 μm |