精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵 
高速低振動リニアモータ駆動ステージ
・X-LDQ-AEシリーズ(リニア(アナログ出力)エンコーダ内臓タイプ)

X-LDQ-AEシリーズ

特徴
  • 1 nmの分解能リニアアナログエンコーダ内臓によるフルクローズドループ制御。高速高精度位置制御
  • ストローク長 75, 150, 300,450,600及び1000mm、最大推力 40 N
  • 最高分解能(最少移動単位)50nm
  • 繰り返し精度 <0.3μm
  • 位置決め精度 2.5μm
  • 最高速度1500mm/s
  • コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能主な用途

  •  
主な用途
  • 画像解析等低振動搬送用途 
  • 高速・高精度搬送用途 
  • ピック&プレイス
  • ビームラインディレイ
  • 高速XYスキャニング(XY軸構成にて) 
ストローク長 75~1000 mm 
最大中荷重 200 N
最高速度 最高加速度
1500 mm/s 
19.62m/s  2
最大推力 40 N
最高分解能 50 nm
 型番仕様
X-LDQシリーズ型番仕様.jpg
-Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg

Zaber 『X-LDM-AE』シリーズ高精度リニアモータ駆動駆動ステージ、精度<1μm、制御ピッチ25μm モデル:

精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!!
高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) 
・X-LDM-AEシリーズ(高精度:<1 μm、分解能:25nm)
特徴
  • 位置決め分解能<1 nmの高精度リニアステーが登場しました。
  • 高精度アナログリニアエンコーダ内蔵
  • ストローク長 60, 110, 210mm
  • 最高分解能(最少移動単位) 1nmG
  • 繰り返し精度 <80nm (0.08μm)
  • 位置決め精度 < 1μm
  • 最高速度1200mm/s 最大加速度:3.5G
  • コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

主な用途

  • 画像解析等低振動搬送用途 
  • 高速・高精度搬送用途 
  • ピック&プレイス
  • ビームラインディレイ
  • 高速XYスキャニング(XY軸構成にて) 
ストローク長 60mm, 110mm, 210mm
最大中心荷重 120 N (約12Kg) 
最高速度 最高加速度
1200 mm/s 
34.3m/s  2
最大推力 60 N
最小移動単位、繰り返し精度 25 nm, <0.08 μm
>>リニアモータ駆動リニアステージ選択表

X-LDM-AEシリーズデータシート

  >>X-LDM-AE Manual_E(PDF)  
**和文マニュアル準備中です。出来次第さし換えます。
 型番仕様
CapD X-LDM選択表2.jpg
CapD精度表2.jpg
-Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

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Zaber 『X-LDA-AE』シリーズ高精度リニアモータ駆動駆動ステージ、精度<1μm、制御ピッチ25 nm モデル:

精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!!
高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) 
・X-LDA-AEシリーズ(高精度:A<1.5 μm、分解能:20nm)
特徴
  • 最小位置決め分解能:20 nmの高精度リニアモータステージ
  • 高精度アナログリニアエンコーダ内蔵(分解能1nm)
  • ストローク長 25, 75, 150mm
  • 最高分解能(最少移動単位) 20nm
  • 繰り返し精度 <0.2μm 
  • 位置決め精度  1.5μm
  • 最高速度 800mm/s 最大加速度:3.9.2m/s^2 (4G)
  • コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

主な用途

  • 画像解析等低振動搬送用途 
  • 高速・高精度搬送用途 
  • ピック&プレイス
  • ビームラインディレイ
  • 高速XYスキャニング(XY軸構成にて) 
ストローク長 25, 75, 150mm
最大中心荷重 100 N (約10Kg) 
最高速度 最高加速度 800 mm/s  39.2m/s  2
最大推力 13 N
最小移動単位、繰り返し精度 20 nm, <0.2 μm
>>リニアモータ駆動リニアステージ選択表

X-LDA-AEシリーズデータシート

  >>X-LDA-AE Manual_E(PDF)  
**和文マニュアル準備中です。出来次第さし換えます。
 型番仕様
CapD20200103_5 型番仕様(X-LDA).jpg
CapD20200103_6 精度表#1 X-LDA-AE 1-03-2020.jpg
CapD20200103_7 精度表#2X-LDA 1-03-2020.jpg
-Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

CapD20160311_4.jpg
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