• AML超高真空対応ゴニオメーターステージは、ISO 7クリーンルームでUHV互換の材料と工法で製造され、AML D35.1UHVステッピングモーターを利用しています。
• 可動範囲：+/-15°
• 作動距離：71mm

　　(回転中心からテーブル上面迄の距離)

• 最大トルク：10 Nm
• 双方向繰り返し精度：175 μラジアン
• 中心負荷容量：40Kg

• 標準ストローク：50mmから400mm(5機種)まで用意
• 分解能：5μm
• 送り速度：5mm/sec 又は 15mm/sec
• XYZ軸構成：追加治具なしで構成できます。
• 移動方向：任意方向に設定可
• 対応真空度：1 x 10mBar(1 x 10Pa)以上の超高真空環境に適応-10-8
• ベーキング温度：200ºC
• リミットスイッチや光学式エンコーダも装備可(オプション）
• カスタム仕様にも対応します。

LTVL UHV搬送ステージ(pdf)

• 標準ストローク：50mmから400mm(5機種)まで用意
• 分解能：1μm
• 送り速度：5mm/sec 又は 15mm/sec
• XYZ軸構成：追加治具なしで構成できます。
• 移動方向：任意方向に設定可
• 対応真空度：1 x 10mBar(1 x 10Pa)以上の超高真空環境に適応-10-8
• ベーキング温度：200ºC
• リミットスイッチや光学式エンコーダも装備可（オプション）
• カスタム仕様にも対応します。

• 高負荷・高剛性が必要な場合はLTXシリーズが最適
• 標準ストローク：25mm、55mm及び85mm
• 分解能：1μm 又は 5μm（LTXL :5μm/LTH:1μm)
• 最高送り速度：4mm/sec又は 15 mm/sec
• 多軸構成：追加治具なしでXYZ構成可
• 適合真空度：1 x 10-10mBar(10-8 Pa)
• ベーキング温度：200ºC迄
• ユーザご要望仕様に対応可

LTX　搬送ステージ（pdf）

X φθ　3軸構成ステージ
ご要望に応じた特別仕様ステージも
お届け致します。
お問い合わせ下さい。
 

• 分解能：1ステップ0.036°から 0.004° 4
• 無負荷ではバックラッシュは分解能以下
• 間欠動作での平衡負荷は最大1Kg迄
• モデルRSBS10K/20K/30K はAML社標準ステージLTV & LTX に直に搭載可
• 適応真空度：1 x 10-mBar(10 Pa)10-8
• ベーキング温度：200ºC迄可

機種：RSB10K,RSB20K,RSB30K,RSB90K, RSB120K

RSB ロータリステージ(pdf) 

AML超高真空対応回転ステージは、バランスの取れた負荷の断続的な回転または精密ギアボックスとして使用することを目的としています。 それらは、UHV互換の材料と製造方法で製造され、AML D35.1 UHVステッピングモーターを利用します。 RSB10K / 20K / 30Kは、追加のハードウェアなしでAML LTV変換ステージに直接マウントするか、別のRSBに搭載できます。 

・回転範囲：360°フルレンジ ・分解能：フルステップにて0.1 ° ・1回転ステップ数：3,600 ステップ ・最大積載での、最高回転速度：100rpm ・最大トルク：1Nm

RSX3K6は、あらゆる方向の荷重に耐えることができる高い回転精度を提供する精密クロスローラーリングベアリングを備えています。 18mmのクリアアパーチャ、バックラッシュ防止スパーギアを備えており、オプションで光学UHV互換のロータリーエンコーダを取り付けることができます。

• 対応真空度：1 x 10-10mBar(10-8 Pa)
• ギア比オプション：4:1 から100:1
• 高伝達効率：>94%
• 低イナーシャ
• 高精度、低バックラッシュ
• ベーキング温度：200ºC迄

PG42データシート　(pdf)

•  1x10-10mBar 未満の仕様に最適
• 複数のギア比オプションあり、3:1〜100:1 
• 高伝達効率：＞94%
• 低イナーシャ
• 高精度、低バックラッシュ
• 長寿命>10,000 時間
• ベーキング温度200度C迄可