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AML
(Arun Microelectronics, エイ・エム・エル社) 英国

UHV機器 納入実績とアプリケーション情報

型番:UHVイオンゲージおよびプロセクコントローラの納入実績とアプリケーション情報

イオンゲージは UHV測定が必要な全ての産業と科学研究に最適なホットカソード(熱陰極)ゲージとして採用されています。

  • X線光電子分光分析(XPS) : X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
  • オージェ電子分光分析(AES) : Auger electron spectroscopy (AES)
  • 二次電子質量分光分析(SIMS) : Secondary ion mass spectrometry (SIMS)
  • 熱吸収分光分析(TPD) : Thermal desorption spectroscopy (TPD)
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以下の非常に高度な純粋度が要求される薄膜形成及び予備工程においては特に高度真空度の測定が必要です。

  • 分子線エピタキシー molecular beam epitaxy (MBE)
  • UHV化学蒸着(CVD) UHV chemical vapor deposition (CVD)
  • UHVパルスレーザ蒸着(PLD)UHV pulsed laser deposition (PLD)
  • 角度分解光電子分光分析(ARPES) Angle resolved photoemission spectroscopy (ARPES)
型番:UHVステッパーモータおよびコントローラの納入実績とアプリケーション情報

AMLではUHVステッパーモータ技術が斬新で前例がない技術だった1985年以来日本市場に様々なUHV機器、システムに組み込まれて数100台のユニットが導入されています。(表面解析用のゴニオシステムに組み込まれたモータも含めると数1000台になります。)

実際にUHV環境でのモーション制御を必要とする全ての科学プロセスに於いて使用されてきました。重力波検出(Gravitational wave detectors such):LIGO, VIRGO, GEO 600, 及び TAMA 300の様な重力波検出装置の重力補正装置としてビームチョッパー、シャッターに使用されています。

型番:UHV 6軸ゴニオメータステージ(特別仕様)のご紹介

真空モーションシステムの設計及び製造スペシャリストとして、AML社はアプリケーション固有の要件に対応します。高エネルギー放射光源アプリケーション用にUHV互換6軸マニピュレータを必要としているお客様から開発のご依頼がありました。お客様と緊密に協力して、標準のLTXリニア搬送ステージと特別設計されたリニア、回転及びゴニオステージを組み合わせて、特別仕様マニピュレータステージを開発致しました。
・真空度:1E-7mBar
・温度:-65℃〜+175℃
・荷重:5 Kg
・リニアステージフルステップ分解能:5μm
・回転及びゴニオメータステージのフルステップ分解能:0.01°

 

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