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AML
(Arun Microelectronics, エイ・エム・エル社) 英国

■UHV高真空位置決めステージ

型番:UHV精密ゴニオステージ モデル:TSX72K0 シリーズ (モデル:TSX72KO-LSはリミット付)
  • AML超高真空対応ゴニオメーターステージは、ISO 7クリーンルームでUHV互換の材料と工法で製造され、AML D35.1UHVステッピングモーターを利用しています。
  • 可動範囲:+/-15°
  • 作動距離:71mm

  (回転中心からテーブル上面迄の距離)

  • 最大トルク:10 Nm
  • 双方向繰り返し精度:175 μラジアン
  • 中心負荷容量:40Kg
その他詳細はデータシートご参照ください。
TSX72KO ゴニオメータステージ(pdf)
価格: モデル:TSX72K0 (0.005°)      ¥1,046,000
モデル:TSX72K0-LS(リミット付)   ¥1,138,000
制御用コントローラ(SMD210&SMD3) ステッパーモータコントローラモデル:SMD210及びSMD3ご参照ください。
型番:UHV精密ステージ モデル:LTVL 
  • 標準ストローク:50mmから400mm(5機種)まで用意
  • 分解能:5μm
  • 送り速度:5mm/sec 又は 15mm/sec
  • XYZ軸構成:追加治具なしで構成できます。
  • 移動方向:任意方向に設定可
  • 対応真空度:1 x 10mBar(1 x 10Pa)以上の超高真空環境に適応-10-8
  • ベーキング温度:200ºC
  • リミットスイッチや光学式エンコーダも装備可(オプション)
  • カスタム仕様にも対応します。

LTVL UHV搬送ステージ(pdf)

CAD (STEP) ファイル AML 社ウェブサイトからダウンロード頂けます。  LTVL/LTVH CAD File
価格帯  ¥589,000 ~ ¥706,000
制御用コントローラ(SMD210&SMD3) ステッパーモータコントローラ・ドライバーモデル:SMD210&SMD3参照ください。
型番:UHV精密ステージ モデル:LTVL 
  • 標準ストローク:50mmから400mm(5機種)まで用意
  • 分解能:1μm
  • 送り速度:5mm/sec 又は 15mm/sec
  • XYZ軸構成:追加治具なしで構成できます。
  • 移動方向:任意方向に設定可
  • 対応真空度:1 x 10mBar(1 x 10Pa)以上の超高真空環境に適応-10-8
  • ベーキング温度:200ºC
  • リミットスイッチや光学式エンコーダも装備可(オプション)
  • カスタム仕様にも対応します。
LTVH 搬送ステージデータシート(PDF)


LTVH UHV Translation stage(pdf) 
CAD (STEP) ファイル AML 社ウェブサイトからダウンロード頂けます。  LTVL/LTVH CAD File
価格帯  ¥589,000 ~ ¥706,000
制御用コントローラ(SMD210&SMD3) ステッパーモータコントローラ・ドライバーモデル:SMD210&SMD3参照ください。
>>製品に関するお問い合わせはコチラ
型番:UHV精密ステージ モデル:LTXL & LTXHシリーズ (LTXHシリーズは分解能1μm)
  • 高負荷・高剛性が必要な場合はLTXシリーズが最適
  • 標準ストローク:25mm、55mm及び85mm
  • 分解能:1μm 又は 5μm(LTXL :5μm/LTH:1μm)
  • 最高送り速度:4mm/sec又は 15 mm/sec
  • 多軸構成:追加治具なしでXYZ構成可
  • 適合真空度:1 x 10-10mBar(10-8 Pa)
  • ベーキング温度:200ºC迄
  • ユーザご要望仕様に対応可

LTX 搬送ステージ(pdf)

価格帯 モデル:LTXL (5μm) ¥711,000 ~ ¥731,000 / LTXH(1 μm) ¥853,000~¥914,000
制御用コントローラ(SMD210&SMD3) ステッパーモータコントローラ・ドライバーモデル:SMD210&SMD3参照ください。
>>製品に関するお問い合わせはコチラ

X φθ 3軸構成ステージ
ご要望に応じた特別仕様ステージも
お届け致します。
お問い合わせ下さい。
 

AML社の真空メカニズムご紹介
(各種UHV精密ステージ、バーニアストップ、スタッキングオーダー)
 
 
型番:UHV精密ロータリーステージ モデル:RSBシリーズ
  • 分解能:1ステップ0.036°から 0.004° 4
  • 無負荷ではバックラッシュは分解能以下
  • 間欠動作での平衡負荷は最大1Kg迄
  • モデルRSBS10K/20K/30K はAML社標準ステージLTV & LTX に直に搭載可
  • 適応真空度:1 x 10-mBar(10 Pa)10-8
  • ベーキング温度:200ºC迄可

機種:RSB10K,RSB20K,RSB30K,RSB90K, RSB120K

RSB ロータリステージ(pdf) 

価格帯 モデル:RSB10K (分解能 1回転10,000ステップ) ¥475,000
モデル:RSB20K (分解能 1回転20,000ステップ) ¥475,000 
モデル:RSB30K (分解能 1回転30,000ステップ) ¥497,000
モデル:RSB90K(分解能 1回転90,000ステップ) ¥680,000
モデル:RSB120K(分解能 1回転120,000ステップ) ¥680,000 

AML超高真空対応回転ステージは、バランスの取れた負荷の断続的な回転または精密ギアボックスとして使用することを目的としています。 それらは、UHV互換の材料と製造方法で製造され、AML D35.1 UHVステッピングモーターを利用します。 RSB10K / 20K / 30Kは、追加のハードウェアなしでAML LTV変換ステージに直接マウントするか、別のRSBに搭載できます。 

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型番:UHV精密ロータリーステージ モデル:RSXシリーズ

・回転範囲:360°フルレンジ ・分解能:フルステップにて0.1 ° ・1回転ステップ数:3,600 ステップ ・最大積載での、最高回転速度:100rpm ・最大トルク:1Nm

 

RSXシリーズロータリステージ(pdf) 
価格帯 モデル:RX3K6  0.1°/ステップ分解能 ¥610,000
モデル:RSXK6-E  エンコーダ内蔵モデル ¥1,65,000
付属品:RSXAD01  直進ステージLTVL/LTXにRSX3K6取り付け治具  ¥58,000

RSX3K6は、あらゆる方向の荷重に耐えることができる高い回転精度を提供する精密クロスローラーリングベアリングを備えています。 18mmのクリアアパーチャ、バックラッシュ防止スパーギアを備えており、オプションで光学UHV互換のロータリーエンコーダを取り付けることができます。

 
型番:UHV 精密ギアヘッド モデル:PG42
  • 対応真空度:1 x 10-10mBar(10-8 Pa)
  • ギア比オプション:4:1 から100:1
  • 高伝達効率:>94%
  • 低イナーシャ
  • 高精度、低バックラッシュ
  • ベーキング温度:200ºC迄

PG42データシート (pdf)

価格情報 PG42(ギア比4~10):¥386,000 PG42 (ギア比16~100) :¥467,000
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型番:UHV 精密ギアヘッド モデル:PG57 (New !)
  •  1x10-10mBar 未満の仕様に最適
  • 複数のギア比オプションあり、3:1〜100:1 
  • 高伝達効率:>94%
  • 低イナーシャ
  • 高精度、低バックラッシュ
  • 長寿命>10,000 時間
  • ベーキング温度200度C迄可
PG 57 データシート(pdf) 
価格情報 PG57(ギア比3~10) : ¥437,000    PG57(ギア比15~100):¥510,000 
 

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