AML AML
(Arun Microelectronics, エイ・エム・エル社) 英国
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AML社UHVステッパーモータ、イオンゲージは海外のMBE装置や CVD装置に搭載され日本国内で稼働中。 30年以上経過したイオンゲージコントローラが稼働しています。 (旧モデルのイオンゲージ&ステージコントローラの修理も承っております。)
 CapD20200126 Stepper Motor + Controller (Top page) #2 40%.jpg
CapD20200126_2 Ion Gauge Cable AIGL #2 40%.jpg 
CapD20200126_17 UHV Stages #2 40%.jpg 
UHV超高真空対応
ステッパーモータ/コントローラ
UHV超高真空BA
イオンゲージ
UHV超高真空
位置決めステージ
CapD20200126_12 Connectors, Thermo couple, Tools #2 40%.jpg 
CapD20200126_18 XYZ stages #2 small.jpg
 
UHV 超高真空用途部品及び工具 UHV ワイヤ、コネクターetc. 納入実績と
主要アプリケーション
 
 

 
 
ZABER.jpg Zaber Technologies
(ゼイバー・テクノロジーズ社) カナダ
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Zaber社のデイジーチェーン接続による省配線化は真空機器で真価を発揮します!
 4ピンのフィードスルー1つだけで、複数のZaber製品を動作、制御可能です。
 さらに真空チャンバー内の配線も最小限にできる為、チャンバー内スペースを有効活用頂けます。

 

製品一覧 型番・写真をクリックすると詳細ページが表示されます。

  X-LSM-SV1&2 シリーズ   X-LRQ-SV1&2 シリーズ   LSA-SV1&2 シリーズ
X-LSM-SV   X-LRQ-SV2   LSA-SV2
真空対応コンパクトリニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3及び10-6トール
 
真空対応高剛性リニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3及び10-6トール
 
真空対応ミニチュアリニアステージ
ストローク長:10mm、25mm
対応真空度:10-3及び10-6トール
         
X-RSW-SV1&2 シリーズ    X-RSM-SV1&2 シリーズ   X-GSM-SV1&2 シリーズ
X-RSW-SV    CapD X-RSM-SV 60%.jpg
  CapD X-GSM-SV.jpg
真空対応ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3 及び10-6トール
 
真空対応小型ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度 10-3及び10-6トール
 
真空対応ゴニオステージ
コントローラドライバー内蔵  
対応真空度 10-3及び10-6トール 
         
T-MM-Vシリーズ   T-NA-SV1&2 シリーズ     X-VSR-SV1&2 シリーズ
T-MM-Vシリーズ    T-NAxx-SVシリーズ.jpg    CapD X-VSR-SV 60%.jpg
真空対応電動2軸ミラーマウント
コントローラドライバー内臓
低真空対応 10-3トール
 
 真空対応リニアアクチュエータ    
 コントローラ・ドライバー内蔵 
対応真空度 10-3及び10-6 トール
 
 真空対応Z軸ステージ  
コントローラ・ドライバー内蔵        対応真空度 10-3及び10-6トール
         
TSB-Vシリーズ    X-NA-SV1&2 シリーズ    
   group_tsb-v.jpg    CapD20191206_6 X-NA08A50-SV2.jpg    
真空対応可搬ステージ(組み合わせ用) 低真空対応 10-3トール T-NA-SV1との組み合わせで自動化対応  
 真空対応リニアアクチュエータ 
Xシリーズコントローラ内蔵
対応真空度 10-3 及び10-6トール
   
         

 

対応真空度 SV1タイプ:10-3 トール、SV2タイプ:10-6トール
ベーキング温度 真空引き時間短縮や排ガス効率のために真空ベーキングが可能です。10-3以下の真空度にて、モデル別に以下の温度まで上げ、数時間かけて焼入れしてください。
ベーキング温度: モデルT-LSM-SVステージ:80℃  モデルT-NA-SVアクチュエータ:110℃  
注記:上記温度を超えると、内部のポリマー部材が永久損傷を受ける恐れがありますので、ご注意ください。
Zaber社技術資料

 

T-LSMxx-SVシリーズ.jpg

煩雑なケーブルから解放!

Zaber社真空デバイスは1本のケーブルでデイジーチェーン接続できるので、真空容器内の貴重なスペースがフルに活用できます。

T-LSMxx-SVシリーズ.jpg

真空チャンバー内でもデイジーチェーンが威力発揮

  • デバイスにはコントローラが内臓されているので、容易にデイジーチェーン接続できます。
  • 複数のデバイス用に1個のフィードスルーで十分です。
  • 電源もデイジーチェーン経由で供給されます。

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真空デバイスのパケージ作業状況

  • 高真空デバイスはUHV低排ガス(ULO®) 作業環境でポリエチレンバッグにパッケージングされます。
  • 高真空デバイスはクリーンルームにて2重のバッグに収納されます。
  • 低真空デバイスは収納バックが1式です。

シリーズ.jpg

クリーンルームでの組み立て作業

  • すべての真空パーツは、超音波洗浄或は、イソプロピルアルコールによる手作業にて洗浄されます。
  • 洗浄の後はすべてのパーツは片づけられ、作業は常にグローブ装着作業にて行われます。
  • 高真空デバイスはクラス100(ISOクラス5)クリーンルーム内で組み立てられます。
  • 低真空デバイスはZaber社の通常組み立て工程にて実施されます。

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スペクトロスコピー用途

左写真では真空チャンバー内で、ターゲットや光学素子を精密に操作できるZaber社の低真空アクチュエータ及び搬送ステージを導入しています。

"Zaber社のアクチュエータを導入することで、真空チャンバー内でのデイジーチェーンにより、複雑なケーブル処理やプログラムについて悩むことがなくなり、実験に専念できるようになりました。これがZaber社デバイスを選んだ理由です。時は金なり!絶対おすすめです。"

- Dr. Fergal O'Reilly, Research Physics & Innovation Officer, University College Dublin Physics Department  

 
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