AML社UHVステッパーモータ、イオンゲージは海外のMBE装置や CVD装置に搭載され日本国内で稼働中。30年以上経過したイオンゲージコントローラが稼働しています。(旧モデルのイオンゲージ&ステージコントローラの修理も承っております。)

CapD LTV stage 50%.jpg

複合多軸装置納入実績
(データ準備中)

新製品情報

AML最新版ソフトウェア更新 以下のソフトウェアの最新版がダウンロート頂けます。
AML Device Control Software 最新版 AMLデバイスコントロールソフトウェアのダウンロードサイト
NGC3 Software 最新版 NGCS コントローラ制御ソフト への更新
SMD3 C# API 最新版 SMD3 C# ダウンロードサイト
 
Zaber社のデイジーチェーン接続による省配線化は真空機器で真価を発揮します!
4ピンのフィードスルー1つだけで、複数のZaber製品を動作、制御可能です。
 さらに真空チャンバー内の配線も最小限にできる為、チャンバー内スペースを有効活用頂けます。

製品一覧 型番・写真をクリックすると詳細ページが表示されます。

  X-LSM-SV1&2 シリーズ

真空対応コンパクトリニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3及び10-6トール

X-LRQ-SV1&2 シリーズ

真空対応高剛性リニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3及び10-6トール

LSA-SV1&2 シリーズ

真空対応ミニチュアリニアステージ
ストローク長:10mm、25mm
対応真空度:10-3及び10-6トール

X-RSW-SV1&2 シリーズ 

真空対応ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3 及び10-6トール

X-RSM-SV1&2 シリーズ

真空対応小型ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度 10-3及び10-6トール

X-GSM-SV1&2 シリーズ

真空対応ミニチュアリニアステージ
ストローク長:10mm、25mm
対応真空度:10-3及び10-6トール

T-MM-Vシリーズ

真空対応電動2軸ミラーマウント
コントローラドライバー内臓
低真空対応 10-3トール

T-NA-SV1&2 シリーズ 

真空対応リニアアクチュエータ
コントローラ・ドライバー内蔵 
対応真空度 10-3及び10-6 トール

 X-VSR-SV1&2 シリーズ

真空対応Z軸ステージ
コントローラ・ドライバー内蔵
対応真空度 10-3及び10-6トール

TSB-Vシリーズ

真空対応可搬ステージ(組み合わせ用) 低真空対応 10-3トール T-NA-SV1との組み合わせで自動化対応

 X-NA-SV1&2 シリーズ

真空対応リニアアクチュエータ
Xシリーズコントローラ内蔵
対応真空度 10-3 及び10-6トール

対応真空度 SV1タイプ:10 トール、SV2タイプ:10トール-3-6
ベーキング温度 真空引き時間短縮や排ガス効率のために真空ベーキングが可能です。10以下の真空度にて、モデル別に以下の温度まで上げ、数時間かけて焼入れしてください。
ベーキング温度: モデルT-LSM-SVステージ:80℃  モデルT-NA-SVアクチュエータ:110℃  
注記:上記温度を超えると、内部のポリマー部材が永久損傷を受ける恐れがありますので、ご注意ください。 -3
Zaber社技術資料 >>真空アプリケーションのためのモーションデバイス設計の考慮事項
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煩雑なケーブルから解放!

Zaber社真空デバイスは1本のケーブルでデイジーチェーン接続できるので、真空容器内の貴重なスペースがフルに活用できます。

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真空デバイスのパケージ作業状況

  • 高真空デバイスはUHV低排ガス(ULO®) 作業環境でポリエチレンバッグにパッケージングされます。
  • 高真空デバイスはクリーンルームにて2重のバッグに収納されます。
  • 低真空デバイスは収納バックが1式です。
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真空チャンバー内でもデイジーチェーンが威力発揮

  • デバイスにはコントローラが内臓されているので、容易にデイジーチェーン接続できます。
  • 複数のデバイス用に1個のフィードスルーで十分です。
  • 電源もデイジーチェーン経由で供給されます。
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クリーンルームでの組み立て作業

  • すべての真空パーツは、超音波洗浄或は、イソプロピルアルコールによる手作業にて洗浄されます。
  • 洗浄の後はすべてのパーツは片づけられ、作業は常にグローブ装着作業にて行われます。
  • 高真空デバイスはクラス100(ISOクラス5)クリーンルーム内で組み立てられます。
  • 低真空デバイスはZaber社の通常組み立て工程にて実施されます。

スペクトロスコピー用途

左写真では真空チャンバー内で、ターゲットや光学素子を精密に操作できるZaber社の低真空アクチュエータ及び搬送ステージを導入しています。 "Zaber社のアクチュエータを導入することで、真空チャンバー内でのデイジーチェーンにより、複雑なケーブル処理やプログラムについて悩むことがなくなり、実験に専念できるようになりました。これがZaber社デバイスを選んだ理由です。時は金なり!絶対おすすめです。" - Dr. Fergal O'Reilly, Research Physics & Innovation Officer, University College Dublin Physics Department  低真空アクチュエータ