大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密Z軸(昇降)ステージ
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20mm ストロークシリーズはフルラインナップ
外部コントローラ制御、20mm、
モータエンコーダ(500CPR)内蔵、最高速度:55mm/s、トルク:200N、最大耐荷重:10Kg
デバイス自動検出機能付き,
推奨コントローラ:X-MCCシリーズ
高速・高精度・薄型・リニアモータ駆動Z軸ステージ登場
超精密Z軸ステージ:20,25mm
分解能:1nm (ナノメートル)
可搬荷重:最大55N(5.5Kgf)
繰り返し精度:<0.2 μm(ミクロン)
精度:1.5 μm 可動単位:20 nm
X-モデルはコントローラ内蔵
超精密Z軸ステージ:40,60mm
分解能:1nm (ナノメートル)
可搬荷重:最大55N(5.5Kgf)
繰り返し精度:80 nm(ナノメートル)
精度:1μm 可動単位:25 nm(ナノメートル)
X-モデルはコントローラ内蔵
精密Z軸(昇降)ステージ 薄型・高速・高精度 モデル:
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40mm, 60mm ストロークシリーズ
X-LDM040C
電動昇降(Z軸)ステージ、40mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・コントローラ内蔵、800mm/s、
・最大トルク:10N
・最大連続トルク:25N
・繰り返し精度<0.08 μm
X-LDM060C
電動昇降(Z軸)ステージ、60mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・コントローラ内蔵、800mm/s、
・最大トルク:10N
・最大連続トルク:25N
・繰り返し精度<0.08 μm
LDM040C
外部コントローラ制御、40mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・外部コントローラ制御、600mm/s、
・最大トルク:10N、
・最大連続トルク:25N
・繰り返し精度<0.08 μm
・推奨コントローラ:X-MCCシリーズ
LDM060C
外部コントローラ制御、60mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・外部コントローラ制御、800mm/s、
・最大トルク:90N
・最大連続トルク:25N
・繰り返し精度<0.08 μm
・推奨コントローラ:X-MCCシリーズ
X-LDM-AEZ & LDM-AEZ マニュアル(準備中)
20mm, 25mm ストロークシリーズ
X-LDA20A
電動昇降(Z軸)ステージ、20mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・コントローラ内蔵、400mm/s、
・最大トルク:13N、
・最大連続トルク:6N、
・繰り返し精度<0.2 μm
X-LDA025A
電動昇降(Z軸)ステージ、25mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・コントローラ内蔵、700mm/s、
・最大トルク:13N、
・最大連続トルク:6N、
・繰り返し精度<0.2 μm
LDA020A
外部コントローラ制御、20mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・外部コントローラ制御、
・最高速度:400mm/s、
・最大トルク:13N、
・最大連続トルク:6N、
・繰り返し精度<0.2 μm
・推奨コントローラ:X-MCCシリーズ
LDA025A
外部コントローラ制御、25mm
・リニアアナログエンコーダ内蔵、
・外部コントローラ制御、
・最高速度:700mm/s、
・最大トルク:13N、
・最大連続トルク:6N、
・繰り返し精度<0.2 μm
・推奨コントローラ:X-MCCシリーズ
X-LDA-AEZ & LDA-AEZ マニュアル(準備中)
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