大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『テクノロジーリンク株式会社』

精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵　
高速低振動リニアモータ駆動ステージ
・X-LDQ-AEシリーズ（リニア(アナログ出力）エンコーダ内臓タイプ）
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X-LDQ-AEシリーズ

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特徴
  • 1 nmの分解能リニアアナログエンコーダ内臓によるフルクローズドループ制御。高速高精度位置制御
  • ストローク長 75, 150, 300,450,600及び1000ｍｍ、最大推力 40 N
  • 最高分解能（最少移動単位)50nm
  • 繰り返し精度　<0.3μm
  • 位置決め精度　2.5μm
  • 最高速度1500mm/s
  • コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能主な用途

    •  
主な用途
  • 画像解析等低振動搬送用途 
  • 高速・高精度搬送用途 
  • ピック＆プレイス
  • ビームラインディレイ
  • 高速XYスキャニング（XY軸構成にて） 
ストローク長 75~1000 mm 
最大中荷重 200 N
最高速度 最高加速度
1500 mm/s 
19.62m/s  2
最大推力 40 N
最高分解能 50 nｍ
 型番仕様
X-LDQシリーズ型番仕様.jpg

※型番にないストローク長、リードネジ仕様等ご要望ございましたらお問い合わせください。

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