真空仕様精密ステージ・リニアアクチュエータ

Zaber社のデイジーチェーン接続による省配線化は真空機器で真価を発揮します!
4ピンのフィードスルー1つだけで、真空チャンバー内の複数のZaber製品を動作、制御可能です。
さらに真空チャンバー内の配線も最小限にできる為、チャンバー内スペースを有効活用頂けます。

製品一覧型番・写真をクリックすると詳細ページが表示されます。

真空対応コンパクトリニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3及び10-6トール

真空対応高剛性リニアステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3及び10-6トール

真空対応ミニチュアリニアステージ
ストローク長:10mm、25mm
対応真空度:10-3及び10-6トール

真空対応ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度:10-3 及び10
-6トール

真空対応小型ロータリステージ
コントローラドライバー内臓
対応真空度 10-3及び10-6トール

真空対応ゴニオステージ
コントローラドライバー内蔵 
 
対応真空度 10-3及び10-6トール 

真空対応電動2軸ミラーマウント
コントローラドライバー内臓
低真空対応 10-3トール

真空対応リニアアクチュエータ    
コントローラ・ドライバー内蔵 
対応真空度 10-3及び10-6 トール

真空対応Z軸ステージ
  コントローラ・ドライバー内蔵
対応真空度 10-3及び10-6トール

真空対応可搬ステージ(組み合わせ用) 低真空対応 10-3トール T-NA-SV1との組み合わせで自動化対応

真空対応リニアアクチュエータ
 Xシリーズコントローラ内蔵
対応真空度 10-3 及び10-6トール

対応真空度 SV1タイプ:10 トール、SV2タイプ:10トール-3-6
ベーキング温度 真空引き時間短縮や排ガス効率のために真空ベーキングが可能です。10以下の真空度にて、モデル別に以下の温度まで上げ、数時間かけて焼入れしてください。
ベーキング温度: モデルT-LSM-SVステージ:80℃  モデルT-NA-SVアクチュエータ:110℃  
注記:上記温度を超えると、内部のポリマー部材が永久損傷を受ける恐れがありますので、ご注意ください。 -3
Zaber社技術資料 >>真空アプリケーションのためのモーションデバイス設計の考慮事項

煩雑なケーブルから解放!

Zaber社真空デバイスは1本のケーブルでデイジーチェーン接続できるので、真空容器内の貴重なスペースがフルに活用できます。

CapD20201225_14 真空内でのデイジーチェーンのメリット 50%.jpg

真空チャンバー内でもデイジーチェーンが威力発揮

  • デバイスにはコントローラが内臓されているので、容易にデイジーチェーン接続できます。

  • 複数のデバイス用に1個のフィードスルーで十分です。

  • 電源もデイジーチェーン経由で供給されます。

CapD20201225_15 真空パケージ 50%.jpg

真空デバイスのパケージ作業状況

  • 高真空デバイスはUHV低排ガス(ULO®) 作業環境でポリエチレンバッグにパッケージングされます。
  • 高真空デバイスはクリーンルームにて2重のバッグに収納されます。
  • 低真空デバイスは収納バックが1式です。
CapD20201225_16 クリーンルーム内で組み立て 50%.jpg

クリーンルームでの組み立て作業

  • すべての真空パーツは、超音波洗浄或は、イソプロピルアルコールによる手作業にて洗浄されます。

  • 洗浄の後はすべてのパーツは片づけられ、作業は常にグローブ装着作業にて行われます。

  • 高真空デバイスはクラス100(ISOクラス5)クリーンルーム内で組み立てられます。

  • 低真空デバイスはZaber社の通常組み立て工程にて実施されます。

CapD20201225_20 真空チャンバー内 50%.jpg

スペクトロスコピー用途
左写真は真空チャンバー内で、ターゲットや光学素子を精密に操作できるZaber社の低真空アクチュエータ及び搬送ステージです。

"Zaber社のアクチュエータを導入することで、真空チャンバー内のデイジーチェーンにより、複雑なケーブル処理やプログラムのことについて悩むことなく実験に専念できます。これがZaber社デバイスを選んだ理由です。時は金なり!絶対おすすめです。"

- Dr. Fergal O'Reilly, Research Physics & Innovation Officer, University College Dublin Physics Department
- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

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