煩雑なケーブルから解放！

Zaber社真空デバイスは1本のケーブルでデイジーチェーン接続できるので、真空容器内の貴重なスペースがフルに活用できます。

真空チャンバー内でもデイジーチェーンが威力発揮

• デバイスにはコントローラが内臓されているので、容易にデイジーチェーン接続できます。

• 複数のデバイス用に1個のフィードスルーで十分です。

• 電源もデイジーチェーン経由で供給されます。

真空デバイスのパケージ作業状況

• 高真空デバイスはＵＨＶ低排ガス(ULO®) 作業環境でポリエチレンバッグにパッケージングされます。
• 高真空デバイスはクリーンルームにて2重のバッグに収納されます。
• 低真空デバイスは収納バックが1式です。

クリーンルームでの組み立て作業

• すべての真空パーツは、超音波洗浄或は、イソプロピルアルコールによる手作業にて洗浄されます。

• 洗浄の後はすべてのパーツは片づけられ、作業は常にグローブ装着作業にて行われます。

• 高真空デバイスはクラス100（ＩＳＯクラス５）クリーンルーム内で組み立てられます。

• 低真空デバイスはZaber社の通常組み立て工程にて実施されます。

スペクトロスコピー用途
左写真は真空チャンバー内で、ターゲットや光学素子を精密に操作できるZaber社の低真空アクチュエータ及び搬送ステージです。