大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
真空仕様精密ステージ・リニアアクチュエータ
製品一覧※型番・写真をクリックすると詳細ページが表示されます。
対応真空度 | SV1タイプ:10 トール、SV2タイプ:10トール-3-6 |
ベーキング温度 | 真空引き時間短縮や排ガス効率のために真空ベーキングが可能です。10以下の真空度にて、モデル別に以下の温度まで上げ、数時間かけて焼入れしてください。 ベーキング温度: モデルT-LSM-SVステージ:80℃ モデルT-NA-SVアクチュエータ:110℃ 注記:上記温度を超えると、内部のポリマー部材が永久損傷を受ける恐れがありますので、ご注意ください。 -3 |
Zaber社技術資料 | >>真空アプリケーションのためのモーションデバイス設計の考慮事項 |
煩雑なケーブルから解放!
Zaber社真空デバイスは1本のケーブルでデイジーチェーン接続できるので、真空容器内の貴重なスペースがフルに活用できます。
真空チャンバー内でもデイジーチェーンが威力発揮
デバイスにはコントローラが内臓されているので、容易にデイジーチェーン接続できます。
複数のデバイス用に1個のフィードスルーで十分です。
電源もデイジーチェーン経由で供給されます。
真空デバイスのパケージ作業状況
クリーンルームでの組み立て作業
すべての真空パーツは、超音波洗浄或は、イソプロピルアルコールによる手作業にて洗浄されます。
洗浄の後はすべてのパーツは片づけられ、作業は常にグローブ装着作業にて行われます。
高真空デバイスはクラス100(ISOクラス5)クリーンルーム内で組み立てられます。
低真空デバイスはZaber社の通常組み立て工程にて実施されます。
スペクトロスコピー用途
左写真は真空チャンバー内で、ターゲットや光学素子を精密に操作できるZaber社の低真空アクチュエータ及び搬送ステージです。
"Zaber社のアクチュエータを導入することで、真空チャンバー内のデイジーチェーンにより、複雑なケーブル処理やプログラムのことについて悩むことなく実験に専念できます。これがZaber社デバイスを選んだ理由です。時は金なり!絶対おすすめです。"
- Line up - |
Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化