大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『テクノロジーリンク株式会社』

Zaber 『X-LDA-AE』シリーズ高精度リニアモータ駆動駆動ステージ、精度<1μm、制御ピッチ25 nm モデル:

精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!!
高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) 
・X-LDA-AEシリーズ(高精度:A<1.5 μm、分解能:20nm)
特徴
  • 最小位置決め分解能:20 nmの高精度リニアモータステージ
  • 高精度アナログリニアエンコーダ内蔵(分解能1nm)
  • ストローク長 25, 75, 150mm
  • 最高分解能(最少移動単位) 20nm
  • 繰り返し精度 <0.2μm 
  • 位置決め精度  1.5μm
  • 最高速度 800mm/s 最大加速度:3.9.2m/s^2 (4G)
  • コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

主な用途

  • 画像解析等低振動搬送用途 
  • 高速・高精度搬送用途 
  • ピック&プレイス
  • ビームラインディレイ
  • 高速XYスキャニング(XY軸構成にて) 
ストローク長 25, 75, 150mm
最大中心荷重 100 N (約10Kg) 
最高速度 最高加速度 800 mm/s  39.2m/s  2
最大推力 13 N
最小移動単位、繰り返し精度 20 nm, <0.2 μm
>>リニアモータ駆動リニアステージ選択表

X-LDA-AEシリーズデータシート

  >>X-LDA-AE Manual_E(PDF)  
**和文マニュアル準備中です。出来次第さし換えます。
 型番仕様
CapD20200103_5 型番仕様(X-LDA).jpg
CapD20200103_6 精度表#1 X-LDA-AE 1-03-2020.jpg
CapD20200103_7 精度表#2X-LDA 1-03-2020.jpg
-Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

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