大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密電動リニアステージ(X-シリーズ)
コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場!! 高精度リニアモータ駆動ステージ(高精度リニアエンコーダ内蔵) ・X-LDA-AEシリーズ(高精度:A<1.5 μm、分解能:20nm) |
特徴
主な用途
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ストローク長 | 25, 75, 150mm |
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最大中心荷重 | 100 N (約10Kg) |
最高速度 最高加速度 | 800 mm/s 39.2m/s 2 |
最大推力 | 13 N |
最小移動単位、繰り返し精度 | 20 nm, <0.2 μm |