大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
Zaber 『X-LDA-AE』シリーズ高精度リニアモータ駆動駆動ステージ、精度＜1μm、制御ピッチ25 nm モデル：
精密電動リニアステージ(X-シリーズ)
| コントローラ・ドライバー内蔵 超精密ステージ登場！！ 高精度リニアモータ駆動ステージ（高精度リニアエンコーダ内蔵） ・X-LDA-AEシリーズ（高精度：A<1.5 μm、分解能：20nm） |
| 特徴
主な用途
|
| ストローク長 | 25, 75, 150mm |
|---|---|
| 最大中心荷重 | 100 N (約10Kg) |
| 最高速度 最高加速度 | 800 mm/s 39.2m/s 2 |
| 最大推力 | 13 N |
| 最小移動単位、繰り返し精度 | 20 nｍ, <0.2 μm |
| >>リニアモータ駆動リニアステージ選択表 | ||
| >>X-LDA-AE Manual_E(PDF) **和文マニュアル準備中です。出来次第さし換えます。 | ||
| 型番仕様 |
|---|
| -Line up - |
Arduino (アルディーノ）マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン＋シールドによる自動化
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