AML.jpg AML
(Arun Microelectronics, エイ・エム・エル社) 英国

■UHV高真空BAイオンゲージ

型番:NGC3  ニューモデルBayard-Alpert イオンゲージコントローラ
CapD20200218_5 NGC3 70%.jpg    4モードのイオンゲージ操作が可能!!
  •  連続測定範囲:1200 mBar 3 x 10-11 mBar
  • 2式のイオンゲージ(逐次制御)、アクティブゲージ(APG-1) 1式、AMLピラニゲージ(PV) 2式を制御
  • 明るい緑色LED表示、読みやすく、割り当て可能ユーザゲージラベル
  • アクティブ又はピラニゲージ圧力に基づく開始/停止及びインターロックを含む複数のイオンゲージモード
  • 取り付け容易な1U全幅ラックに収納
  • 圧力をmBar, Torr, Pascalで表示、或はイオン電流をアンペアで表示
  • パスワード保護機能、重要な設定への不注意な変更防止
  • 自動又は手動の放出電流設定。調整可能感度 1mBar-1~140mBar-1 
  • 手動及び自動電子衝撃脱ガスプログラム
  • プロセス制御用のパワーリレー4式
  • 温度、時間過圧制限を制御するシステムベーキングプログラム。一体型Kタイプ熱電対アンプ内蔵
  • データロギング及び制御用のRS-232Cインターフェース、1.0V/10年継時出力
  • 調整なし100V~240V, 48~65Hz 電源にて動作

 

旧型の修理、交換に関して:過去16年(1998年)以後のコントローラは修理可能です。それ以前のモデルもシリアル番号をお知らせいただければ互換性お知らせいたします。新・旧コントローラの互換性関しては以下のデータ参照ください。

>>PCG to NGC2 compatibility

NGC3_データシート(PDF)

 

NGC3_Manual(pdf)

和文マニュアル準備中!

       裏面パネル(コネクター配置)
CapD20200218 NGC3 裏面パネル.jpgCapD20200218_1 NGC3 裏面パネルレイアウト.jpg
 
最新版イオンゲージコントローラ NGC3 への移行のお知らせ!!
NGC3 イオンゲージコントローラ ¥201,000
超高真空制御構成セット:NGC3 + AIG17G + AGP-1 + AIGL3 + XAD1 (セット特別価格 10%お値引 特別セット価格販売は終了しました
>>製品に関するお問い合わせはコチラ
型番:NGC2D BA イオンゲージ コントローラ
CapD20200218_5 NGC3 70%.jpg
  • 2式のイオンゲージ制御(逐次制御)、ピラニゲージ(PV) 2式と静電容量式圧力計(Capacitance Manometer)1式が接続可
  •  その他仕様は新モデル:NGC3に同じ
  •  当機種はこれまで通り、販売継続しています。
>>NGC2D データシート >>NGC2D マニュアル
NGC2Dイオンゲージコントローラ(旧モデル)   新規のご注文は終了致しました。
旧タイプイオンゲージコントローラの修理に関して 修理経費
旧モデルPGC1, PGC2, PGC2D, NGC2, NGC2D及びSMD2について修理も承ります。
(1988年以前のシリアル番号が番号だけのモデル及びSMD1,は部品が無いため修理できません)
お問い合わせ下さい。
 
型番:AIG17G , AIG18G, AIG19 : UHV BA イオンゲージ 
CapD20200126_1 BA Gauge #2 Small.jpg
  • 適応真空範囲は1x10-3 から 3x10-11mbar (1x10-1から3x10-9Pa)
  • 2式のタングステン、トリア又はイットリアコーティングされたフィラメントを使用
  • 電子照射(ボンバード面と)によるガス抜き
  • ベークアウト温度450ºC
  • CF35 取り付けフランジ

交換フィラメントのみのご下命もお請けしております。お問い合わせください。

AIG データシート (pdf)

 

AIG_マニュアル (pdf)

モデル名 フィラメント構成 定価
AIG17G UHV BA イオンゲージ、タングステンフィラメント付 ¥60,000
AIG18G  UHV BA イオンゲージ、トーリアコート付、
イリジウムフィラメント
¥74,000
AIG19G  UHV BA イオンゲージ、イットリアコート付、
イリジウムフィラメント
¥74,000
>>■■参考資料■■     >>AMLイオンゲージの歴史と動作原理(PDF)   
>>製品に関するお問い合わせはコチラ
型番:定期交換用イオンゲージ フィラメントアセンブリー 
3Replacement-Filaments

タングステンフィラメントはUHV環境にてエミッション(イオン放出)の寿命が1年から3年です。定期的な交換をお勧めします。

  • AML社AIGイオンゲージ用交換フィラメント
  • タングステン、トーリアコート付イリジウム、及びイットリアコート付イリジウム2フィラメント対でご提供いたします。
  • 納品セット:交換要領書(取説)、固定ねじ及び六角ボルトがセットになっています。BAゲージフィラメントは受け側ソケットに6角レンチで固定されます。
フィラメント交換要領   >>FIL17(PDF)  
価格情報 モデルFIL17: タングステン フィラメント ¥6,000
モデルFIL18:トーリアコート付イリジウム フィラメント ¥19,000
モデルFIL19:イットリアコート付イリジウム フィラメント ¥19,000
>>各フィラメントの基本的説明(概説)
>>製品に関するお問い合わせはコチラ
型番:AGP-1 アクティブピラニゲージ (最先端のMEMSセンサー技術)  注記:名称が変更(APG-1=>AGP-1)されました。
CapD20200207_1 APG Pirani Gauge.jpg
  • 1x10-6 〜1333mBar (7.5x 10-7〜1000 Torr) の測定範囲 
  • 超広範囲の高性能MEMSピラニセンサー
  • 高度で革新的なデジタル信号処理  
  • 5〜1200mBarの高精度ガス非依存センサー
  • 性能に影響なく、あらゆる方向に取り付け可
  • プログラマブル電圧出力信号 
  • デジタルRS-232Cインターフェース  
  • プロセス制御用のソリッドステート設定ポイント1点
  • 10 bar(145psi) の高い過圧耐性 ・堅牢でコンパクトなステンレス製フランジと筐体
AGP-1 ピラニゲージデータシート(PDF) 
 (2022年3月7日更新)
価格情報  モデル:AGP-1  ¥76,000
アダプタ―ケーブルご紹介 ピラニゲージ:APG-1をコントローラ:NGC3に接続する際のケーブル
モデル:XAD1 アダプターケーブル(3m、5m、10m)ご用意
XAD1-03, 05, 10
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型番:PV - ピラニゲージヘッド & リード
4Pirani-Gauge-Heads-and-Leads
  • 適応範囲1 バールから 1x10-3mbar
  • ベーキング可能タイプも有り
  • AML 延長リードは面倒な校正無しで装着可
  • データシート

PVU ピラニゲージデータシート (pdf)

>>マニュアル(PDF)

価格情報 モデル:PVB3 フランジ  NW16CF ベーキング可 ¥44,000
モデル:PVU3 フランジ  NWKF16 ¥31,000
モデル:PVX10  延長リード10m、ベーキング不可 ¥10,000
参考資料(英文)

>>Manual (PDF)

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型番:イオンゲージ接続ケーブル モデル:AIGLx 
5Ion-Gauge-Cables
  • AML社イオンゲージ及びイオンゲージコントローラ専用複合(コンポジット)ケーブル
  • 250ºC迄ベーキング可
  • 標準ケーブル長:3m, 6m及び 9m
  • 特別ケーブル長も対応できます。
MLF18ケーブル、フィードスルー データシート(pdf)
価格情報 モデル:AIGL3 イオンゲージケーブル3m  33,000
モデル:AIGL6 イオンゲージケーブル6m 
43,000
モデル:AIGL9 イオンゲージケーブル9m  52,000
モデル:AIGLX  イオンゲージケーブル ユーザご指定長   お問い合わせ
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UHV超高真空対応
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