特別仕様モータご提供：

Dタイプモータのボディはダイヤモンド様炭素（DLC）によるプラズマ誘起化学蒸着法にてシリコンスティールラミネート加工がされています。内部の標準ベアリングはSUS材でわずかな量のパーフルオロポリエーテルグリース（UHV用グリース）にて潤滑していますが、ドライ潤滑用に二硫化タングステンやハイブリッドベアリングを使用したモータのご提供もお請けいたします。

納入実績：AML社UHVモータは英国の3GeVダイアモンド光源シンクロトロンをはじめ世界中の研究所にて活用されています。

1. UHV真空モータの応用：VCSMの使用法について、特に温度管理による排ガス制御について記載。
2. UHVモータに掛かる荷重：VCSM組み込み設計での荷重計算用資料。
3. Magnetic Leakage Field: VCSM の漏洩磁場に関して
4. Dシリーズモータの真空性能：Dシリーズの排ガステスト結果

>>UHV真空モータ(VCSM)の応用(PDF)

>>UHVモータに掛かる荷重について(PDF)

>>Magnetic leakage field ※漏洩磁場データ(PDF)

>> Dシリーズモータの真空性能(PDF)

• 1 x 10-10 mBar（7.5 x 10-11 Torr）未満での使用に最適
• AMLドライブを使用して高トルクおよびステップレートで真空中で連続運転
• ベーキング温度200°Cまで可
• ステップ角1.8°、ステップ角公差±5％
• 操作温度範囲 -65°C to +175°C
• 極低温拡張動作温度オプションが利用可能, 低温タイプは77K（-196°C + 175°C）対応 
• 熱電対内蔵またはPT100センサー選択可

• すべての内部スペースが通気されたオープン構造 

• NyeTorr®6300超低ガス放出UHVグリースで潤滑されたオープンハイブリッドセラミックベアリング 極低温拡張動作温度オプションが利用可能、範囲は-196°C  + 175°C

• 耐放射線強化(1x 10 Gy)6タイプもあります。
• 乾式潤滑（二硫化タングステン）ハイブリッド窒化ケイ素セラミックベアリングオプションが利用可能
• 特別仕様シャフトタイプも対応可

• 2軸モータのシーケンス制御駆動可
• ホストコンピュータによる制御 / 内部保存プログラムによる駆動 / フロントパネルにて手動操作
• ステップ /8, /4, 及びハーフとフルステップ
• 保持トルクはダイナミックトルクから独立(依存無し)
• K タイプ熱電対アンプでモータの温度管理表示
• モータの熱発生とアウトガス低減のために低電力消費駆動技術採用

UHVステッパーモータ制御に必要なアクセサリー集（MLF18アクセサリー集：コントローラとUHVモータ接続用）

・フィードスルー（MLF18F）、バレルコネクター（MLF18AC、MLFVCF)、ケーブル（MLF18L,MLF18NBL）等

>>Manual(PDF)

>>和文マニュアル(PDF)

>>製品に関するお問い合わせはコチラ

• 真空用に最適化された単一チャネルUHVステッピングモータードライブ、当社のUHVステッピングモーターの範囲での使用に最適  
• モーターの温度上昇を最小限に抑え、アウトガスを最小限に抑え、稼働時間を最大化する高度な低電力駆動技術  

• 電力を削減するために、プログラム制御下で動的トルクとは無関係に保持トルクを制御できます。

• フルステップおよび最大256倍のマイクロステップ解像度、ユーザー設定可能なマイクロステップからフルステップモードへの移行（フルステップ位置でのみ停止、共振の制御に使用されるマイクロステップおよびスムーズなステップ移行） 
• モーター温度が許容レベルを超えた場合の自動シャットダウンによるモーター温度の連続監視  

• 電流は、約0 1 A RMSで調整できます。 30 mAステップ   

• 2 x構成可能な制限入力 

• 光結合ステップ、方向、および有効化インターフェース 

• USBを介した制御  

• 提供される包括的な構成および制御ソフトウェア、または独自のアプリケーションへのインターフェース。 C＃APIが利用可能です。

>>Manual(PDF)

USB経由で制御

・付属の包括的な構成および制御ソフトウェア、または独自の

アプリケーションへのインターフェース。 C# API が利用可能