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(Arun Microelectronics, エイ・エム・エル社) 英国

■UHV高真空対応ステッパーモータ/コントローラ

型番:DシリーズUHVモータ
 CapD20200130 UHV Stepper Motors 40%.jpg


AML社UHVステッピングモータが
どのように製造されているかご紹介

特別仕様モータご提供:

Dタイプモータのボディはダイヤモンド様炭素(DLC)によるプラズマ誘起化学蒸着法にてシリコンスティールラミネート加工がされています。内部の標準ベアリングはSUS材でわずかな量のパーフルオロポリエーテルグリース(UHV用グリース)にて潤滑していますがドライ潤滑用に二硫化タングステンやハイブリッドベアリングを使用したモータのご提供もお請けいたします。

納入実績:AML社UHVモータは英国の3GeVダイアモンド光源シンクロトロンをはじめ世界中の研究所にて活用されています。

  1. UHV真空モータの応用:VCSMの使用法について、特に温度管理による排ガス制御について記載。
  2. UHVモータに掛かる荷重:VCSM組み込み設計での荷重計算用資料。
  3. Magnetic Leakage Field: VCSM の漏洩磁場に関して
  4. Dシリーズモータの真空性能:Dシリーズの排ガステスト結果

>>UHV真空モータ(VCSM)の応用(PDF)

>>UHVモータに掛かる荷重について(PDF)

>>Magnetic leakage field ※漏洩磁場データ(PDF)

>> Dシリーズモータの真空性能(PDF)

3D STEP ファイル => VCSM(D35.1~D57.1) STEP ファイル  
>>製品に関するお問い合わせはコチラ
型番:D35.1  UHVステッパ―モータ 70mNm, NEMA 14
CapD20201118 D35.1 30%.jpg

 

  • 1 x 10-10 mBar(7.5 x 10-11 Torr)未満での使用に最適
  • AMLドライブを使用して高トルクおよびステップレートで真空中で連続運転
  • ベーキング温度200°Cまで可
  • ステップ角1.8°、ステップ角公差±5%
  • 操作温度範囲 -65°C to +175°C
  • 極低温拡張動作温度オプションが利用可能, 低温タイプは77K(-196°C + 175°C)対応 
  • 熱電対内蔵またはPT100センサー選択可
  • すべての内部スペースが通気されたオープン構造 

  • NyeTorr®6300超低ガス放出UHVグリースで潤滑されたオープンハイブリッドセラミックベアリング 極低温拡張動作温度オプションが利用可能、範囲は-196°C  + 175°C

  • 耐放射線強化(1x 106 Gy)タイプもあります。
  • 乾式潤滑(二硫化タングステン)ハイブリッド窒化ケイ素セラミックベアリングオプションが利用可能
  • 特別仕様シャフトタイプも対応可

 

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D42.1 180mNm, NEMA 17 D42.2 360mNm , NEMA 17 D42.3 450mNm , NEMA 17
CapD20201118_1 30%.jpg CapD20201118_2 30%.jpg CapD20201118_3 30%.jpg
D57,1 800mNm, NEMA 23 全てのモデルに以下の特別仕様が用意されています。
CapD20201118_4 50%.jpg コード H: 乾式潤滑ハイブリッドセラミックベアリング
(標準仕様では、ナイト―ル@6300にて潤滑)

コード R: ガンマ線耐性(1 x 106 Gy)

コード X: 特注シャフト(ユーザ仕様シャフト、長さ、径指定可

コード C: 極低温-196°C + 175°C(標準:-65°C to +175°C

コード P: 熱電対の代わりにPT100温度センサーを使用


 

CapD モータ選択表 1-12-2020.jpg

 

 モデル:SMD210 ステッパーモータコントローラ 非同時2軸(シーケンシャル)制御         定価:¥175,000
CapD SMD210 70%.jpg
  • 2軸モータのシーケンス制御駆動可
  • ホストコンピュータによる制御 / 内部保存プログラムによる駆動 / フロントパネルにて手動操作
  • ステップ /8, /4, 及びハーフとフルステップ
  • 保持トルクはダイナミックトルクから独立(依存無し)
  • K タイプ熱電対アンプでモータの温度管理表示
  • モータの熱発生とアウトガス低減のために低電力消費駆動技術採用
SMD210 コントローラ(pdf)
SMD210 マニュアル
 マニュアルの和文ができましたので掲載いたします。翻訳内容再度確認中ですので、内容不明な点がありましたら、原文(英文)版をご参照ください。

>>Manual(PDF)

>>和文マニュアル(PDF)

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型番:SMD3 - 単軸ステッパーモータ ドライバー
      SMD3 JOY SMD3 用ジョイスティック .jpg       SMD3 ドライバー Rear #2.jpgSMD3 SMD3 ドライバー #1.jpg
SMD3及びSMD3JOYのSTEPファイルはこちら
   手動リモコン:SMD3JOY 定価:¥14,000                                コントローラ:SMD3   定価:¥ 71,000
SMD3 ステッパーモータドライバー
 <<単軸仕様 バイポーラ ステッパーモータドライバー登場>>
  • 真空用に最適化された単一チャネルUHVステッピングモータードライブ、当社のUHVステッピングモーターの範囲での使用に最適  
  • モーターの温度上昇を最小限に抑え、アウトガスを最小限に抑え、稼働時間を最大化する高度な低電力駆動技術  
  • 電力を削減するために、プログラム制御下で動的トルクとは無関係に保持トルクを制御できます。
  • フルステップおよび最大256倍のマイクロステップ解像度、ユーザー設定可能なマイクロステップからフルステップモードへの移行(フルステップ位置でのみ停止、共振の制御に使用されるマイクロステップおよびスムーズなステップ移行) 
  • モーター温度が許容レベルを超えた場合の自動シャットダウンによるモーター温度の連続監視  
  • 電流は、約0 1 A RMSで調整できます。 30 mAステップ   
  • 2 x構成可能な制限入力 
  • 光結合ステップ、方向、および有効化インターフェース 
  • USBを介した制御  
  • 提供される包括的な構成および制御ソフトウェア、または独自のアプリケーションへのインターフェース。 CAPIが利用可能です。
SMD3 単軸ステッパーモータドライバ(pdf)
SMD3 ステッパーモータドライバー マニュアル:和文マニュアル
(1軸〜多軸制御(カスケード型)、SMD3)
注記:和文のマニュアルでは、検索項目(青字表示)へのジャンプができないので、
英文マニュアルにて検索項目のページを確認してご希望の和文ページをご確認下さい。

>>Manual(PDF)

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SMD3制御ソフトウェアダウンロードサイト
C# API ダウンロード AML社の「Downloads」よりダウンロード頂けます。
SMD3 Stepper Motor Drive - Arun Microelectronics
SMD3 ソフトウェアダウンロード
(右のAML社ウェブサイトの「Downloads」より)

 

SMD3 ステッパーモータドライバー<=> フィードスルー:MLF18F間接続ケーブル
接続ケーブル:MLF18F フィードスルー:MLF18SMD3
CapD SMD3 接続ケーブル(MLF18Fとの接続用)1-19-2021 20%.jpg MLF18F5B115D.jpg
MLF18SMD3 (コードセット): ¥44,000 MLF18F (フィードスルー):¥43,000
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AML製品カテゴリー category   
 CapD20200126 Stepper Motor + Controller (Top page) #2 40%.jpg
CapD20200126_2 Ion Gauge Cable AIGL #2 40%.jpg 
CapD20200126_17 UHV Stages #2 40%.jpg 
UHV超高真空対応
ステッパーモータ/コントローラ
UHV超高真空BA
イオンゲージ
UHV超高真空
位置決めステージ
CapD20200126_12 Connectors, Thermo couple, Tools #2 40%.jpg 
CapD20200126_18 XYZ stages #2 small.jpg
 
UHV 超高真空用途部品及び工具 UHV ワイヤ、コネクターetc. 納入実績と
主要アプリケーション
 
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熱電対内蔵またはPT100センサー選択可 

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