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真空精密ステージ・リニアアクチュエータ | |
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コントローラ・ドライバー内蔵 高真空対応Z軸ステージ
・X-VSR20-SV1, X-VSR40-SV1シリーズ（10-3 トール対応）
・X-VSR20-SV2, X-VSR40-SV2シリーズ（10-6 トール対応）
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X-RSW-SVシリーズ
デイジーチェーン接続で省配線化
電源供給用ユニット：X-PIB
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特徴
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| 対応真空度 |
最大 10-3 トール：X-VSR㎜ピッチ-SV1
最大 10-6 トール：X-VSR㎜ピッチ-SV2
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| ストローク | 20mm, 40 mm | |
| 最大耐荷重 | 100 N | |
| 最高速度 | 48mm/s | |
| 最大トルク | 200N | |
| 標準分解能 | 0.09525 ° | |
| 型番仕様 | |||
※型番にないストローク長、リードネジ仕様等ご要望ございましたらお問い合わせください。
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| - Line up - |
| ダイレクトドライブリニアモータステージの概要説明＆機種選定 | ||
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モデル：X-LDM-AE |
 
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| 超精密リニアモータステージ ストローク： 75, 150, 300, 450, 600, 1000mm | 超精密リニアモータステージ ストローク：60, 110, 210mm |
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| リニアステージモデル選択表 | ロータリステージモデル選択表 | |
| 精密電動リニアステージ (Actuatorシリーズ) |
精密電動リニアアクチュエータ (Actuatorシリーズ) |
精密電動ロータリーステージ (Rotaryシリーズ) |
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| 真空精密ステージ (Tシリーズ) |
精密ジンバルマウント | 精密ティルトステージ (ゴニオメータ） |
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| 2軸・3軸ガントリーポスター | ||
| 精密電動多軸ステージ | アクセサリ | モータコントローラドライバー &ジョイスティック |
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| ソフトウェアサポート | 精密Z軸(昇降)ステージ | |
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| マイクロマニピュレータ | 電動倒置型顕微鏡 | 顕微鏡載物・搬送ステージ |
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| グリッパー | 電動フィルターホイール | ステッパーモータ |
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| Arduino (アルディーノ） マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。 | 特別仕様ステージ特集 | （X-G-RST300/500-DE/E シリーズ） |
| >>Arduino マイコン＋シールドによる自動化 | ||
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