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精密Z軸(昇降)ステージ | |
| 型番：X-VSRシリーズ コントローラ内蔵、Z軸ステージ モデル：X-VSR20A | ||
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高分解能 | 0.09525 µm |
| 繰り返し精度 | < 1 µm | |
| 最大トルク | 200N | |
| 最大連続中心荷重 | 100N | |
| 最大カンチレバー荷重 | 300N-cm | |
| 最高送り速度 | 48 mm/sec | |
| ストローク | 20 mm | |
| 内蔵モータエンコーダ | なし | |
| 荷重搭載時（10N) 精度 | 35 μm |
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| 最低速度 | 0.000058 mm/s | |
>> X-VSR20A & 40A データシート（和文） |
速度分解能 |
0.000058 mm/s |
| 最大電流値 | 950mA | |
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(和文マニュアル準備中）
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推奨コントローラ | コントローラ内蔵 |
| 型番仕様： |
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| - Line up - |
| ダイレクトドライブリニアモータステージの概要説明＆機種選定 | ||
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モデル：X-LDM-AE |
 
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| 超精密リニアモータステージ ストローク： 75, 150, 300, 450, 600, 1000mm | 超精密リニアモータステージ ストローク：60, 110, 210mm |
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| リニアステージモデル選択表 | ロータリステージモデル選択表 | |
| 精密電動リニアステージ (Actuatorシリーズ) |
精密電動リニアアクチュエータ (Actuatorシリーズ) |
精密電動ロータリーステージ (Rotaryシリーズ) |
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| 真空精密ステージ (Tシリーズ) |
精密ジンバルマウント | 精密ティルトステージ (ゴニオメータ） |
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| 2軸・3軸ガントリーポスター | ||
| 精密電動多軸ステージ | アクセサリ | モータコントローラドライバー &ジョイスティック |
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| ソフトウェアサポート | 精密Z軸(昇降)ステージ | |
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| マイクロマニピュレータ | 電動倒置型顕微鏡 | 顕微鏡載物・搬送ステージ |
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| グリッパー | 電動フィルターホイール | ステッパーモータ |
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| Arduino (アルディーノ） マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。 | 特別仕様ステージ特集 | （X-G-RST300/500-DE/E シリーズ） |
| >>Arduino マイコン＋シールドによる自動化 | ||
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