大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密Z軸(昇降)ステージ
型番:VSRシリーズ モータエンコーダ内蔵、Z軸ステージ モデル:VSR20A-E01 |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大トルク | 200N |
最大連続中心荷重 | 100N |
最大カンチレバー荷重 | 300N-cm |
最高送り速度 | 55 mm/sec |
ストローク | 20 mm |
モータエンコーダ内蔵 | 矩形波四分割、500CPR |
荷重搭載時(10N) 精度 | 35 μm |
最低速度 | 0.000058 mm/s |
速度分解能 | 0.000058 mm/s |
VSR20A-E01 データシート(和文) | 最大電流値 | 950mA |
推奨コントローラ | 推奨外部コントローラ X-MCC1 |
型番仕様 |