大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』

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精密Z軸(昇降)ステージ

型番:VSRシリーズ モータエンコーダ内蔵、Z軸ステージ  モデル:VSR20A-E01
高分解能 0.09525 µm
繰り返し精度 < 1 µm
最大トルク 200N 
最大連続中心荷重 100N
最大カンチレバー荷重 300N-cm
最高送り速度 55 mm/sec
ストローク 20 mm
モータエンコーダ内蔵 矩形波四分割、500CPR
荷重搭載時(10N) 精度 35 μm
最低速度 0.000058 mm/s
速度分解能 0.000058 mm/s
VSR20A-E01 データシート(和文) 最大電流値 950mA

VSR20A-E01 Z Satge (pdf)

推奨コントローラ 推奨外部コントローラ
X-MCC1 
型番仕様
CapD VSR20A-E01 70%.jpg
- Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化