大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密Z軸(昇降)ステージ 40mm 長作動
型番:VSR シリーズ昇降(Z軸)ステージ モデル:VSR-40A-T3 |
高分解能 | 0.09525 µm |
繰り返し精度 | < 1 µm |
最大荷重 | 20 Kg |
最高送り速度 | 55 mm/sec |
最低速度 | 0.00058mm/s |
可動範囲 | 40 mm |
位置決め精度(単一方向) | 35μm |
バックラッシュ | <120μm |
積載時バックラッシュ | <10μm |
最大トルク | 200 N |
最大連続トルク | 100 N |
最大カンチレバー荷重 | 300 N-cm |
VSR40A-T3データシート.pdf | 推奨コントローラ | X-MCC1 |
型番仕様 |