Zaber 『X-LRMシリーズ』コンパクト低床高剛性ステージ

大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』

日本カンタム・デザイン株式会社

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精密電動リニアステージ(X-シリーズ)

コントローラ・ドライバー内蔵　コンパクト低床高剛性ステージ

　　　・X-LRMシリーズ

　　　・X-LRM-Eシリーズ (ロータリーエンコーダ内臓タイプ）

　　　・X-LRM-DEシリーズ（リニアエンコーダ内臓タイプ）高精度！

外付けコントローラタイプも御用意しております。

X-LRMシリーズ

X-LRM-Eシリーズ

X-LRM-DEシリーズ
フルクローズドループ制御！

特徴焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付きリニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き 200mmストロークに対し、位置決め精度15μm以内（リニアエンコーダ内臓タイプ）耐荷重50kgの高剛性ステージコントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能
ストローク長	25, 50, 100, 150, 200 mm
負荷容量(耐荷重)	最大 500 N
最高速度	100 mm/s
最大推力(トルク)	50N
最高分解能	50 nｍ
X-LRM-E シリーズデータシート X-LRM-DE シリーズデータシート
>>X-LRM-DE Manual_E(PDF)
>>X-LRM-E Manual_E(PDF)
>>X-LRM Manual_E(PDF)
**和文マニュアル出来次第掲載します。