大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『テクノロジーリンク株式会社』
Gurley Precision Instruments
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型番：VL18 (リニアスケール＋ディスプレーセット）疑似アブソリュートシステム
| ディスプレイ モデル：VL18 （リニアエンコーダ+カウンタ) ・分解能：0.25 及び 1μm ・測定長：1038 mm (VB), 252mm(VF) ・操作速度：1000mm (VB), 600mm(VF) ・精度：+/- 3μm, +/-5μm, +/-10μm | >>Data sheet(PDF) |
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