大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密電動多軸ステージ
型番:ガントリーステージ:LSQシリーズ |
ストローク(XX) | 150~600mm |
ストローク(Y) | 150~600mm |
最高速度 | 1,000mm/s |
最大連続トルク(推力) | 100N |
耐荷重 | 30 Kg |
繰り返し精度 | <3~15μm |
図面(1) | 図面 Y軸横置き |
図面(2) | 図面 Y縦置き |
マニュアル(和文準備中) | Zaber manual |
Y軸 ストローク | 最大 Y軸振れ / 荷重 |
150mm | 1.4μm / Kg |
300mm | 5.3μm / Kg |
450mm | 10.8μm / Kg |
600mm | 20.1μm / Kg |
LSQ ガントリー:連動2軸の繰り返し精度 | |||
Y軸 | X軸(LSQxxA) | X軸(LSQxxB) | X軸(LSQxxD) |
LSQ xxA | < 3 µm | < 4 µm | < 11 µm |
LSQ xxB | < 4 µm | < 5 µm | < 11 µm |
LSQ xxD | < 11 µm | < 11 µm | < 15 µm |