高精度フルクローズドループ制御ステージ特集

フルクローズド制御ステージ特集

Zaber社よりリニアエンコーダ内臓フルクローズドループ高精度ステージ発表!
これまでは分解能、繰り返し位置決め精度は満足でした。しかし位置決め精度がストローク毎に増加し、バックラッシュも反転時にキャンセルが必要です。
今回ご紹介する高精度ステージは、リニアエンコーダ、ロータリエンコーダでステージ位置をダイレクトに検出するフルクローズドループ制御により、600mmで保証精度15μm、実績7〜8μm程度へ位置決め精度が大幅に向上しました。
高精度でも安価!御依頼頂ければ早急に御見積書を提出させて頂きます。

製品一覧


コンパクト・低床・高剛性リニアステージ
 
  • 焼入れ鋼、循環式ボールベアリングガイドによる卓越した剛性と熱安定性
  • 多軸ステージに最適
  • リニアエンコーダ搭載フルクローズドループ高精度ステージ

 

簡易仕様表

ストローク長 25 ~ 200 mm 
最高速度 100 mm/s
分解能 47.625 nm
位置決め精度 < 15 μm
繰返精度 < 1 μm

高精度・低床・高剛性リニアステージ

 

  • 最高速205mm/sの速度と最大100kgの耐荷重
  • 200×256の優れたマイクロステップモータによる駆動は正確で滑らかな動きを提供します。
  • -DECはステンレス製防塵カバー付き
  • リニアエンコーダ搭載フルクローズドループ高精度ステージ
 
簡易仕様表
ストローク長 75~600 mm 
最高速度 205 mm/s
分解能 99.219 nm
位置決め精度 < 13 μm
繰返精度 < 2.5 μm

ボイスコイル搭載リニアステージ
 
  • フルクローズドループ高精度制御
  • ダイレクトドライブボイスコイル駆動による、連続動作時12N、最大17Nの推力
  • ステージ部高さ30mmなので、高さに制限のあるアプリケーションへ最適です。
  • クロスローラベアリングは摩耗を低減します。
  • 位置制御、速度制御の他、推力制御も可能
  • フルストローク25Hz 位置決めステージとしてだけでなく、振動試験等にもご使用頂けます。
     
簡易仕様表
ストローク長 12 mm 
最高速度 1500 mm/s
フルストローク 25 Hz
位置決め精度 < 5 μm
繰返精度 < 2 μm

高精度・電動ロータリステージ

  • 0.2 arcsec分解能のダイレクトリーディングエンコーダによりステージ精度0.01度を実現
  • 開口部はH8公差の50.8 mm(2インチ)
  • スリップリングを使用することで、ジンバル等構成可能 
  • フルクローズドループ高精度制御
     
簡易仕様表
回転範囲 360° 
最高速度 24 °/s (4.0 rpm)
分解能 0.00015625 deg
位置決め精度 < 0.01 deg
繰返精度 < 0.005 deg

-Line up -

Arduino (アルディーノ)マイクロコントローラを活用した完全自動制御システム が構築できます。PCを専有しないで、多軸ステージの自動運転や、PLCでの精密ステージの自動運転ができます。
>>Arduino マイコン+シールドによる自動化

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