大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密電動リニアアクチュエータ(Actuatorシリーズ)
型番: 外部コントローラ使用 タイプ:モデル NAシリーズ |
ストローク | 16mm,30mm及び60mm |
送り速度 | 最高28mm/s(分解能0.05μm時) |
最高分解能 | 23.8nm |
繰り返し位置決め精度 | 0.4μm以下 |
推奨コントローラ | X-MCCシリーズ |
| ※最新モデルの外部コントローラ (モデル:X-MCC1~4 シリーズコントローラ 1軸仕様から4軸仕様まで)が活用頂けます。同時2軸制御にて個別2軸のアクチュエータの同時制御が可能。 | |
>>NA Manual_E(PDF) | ** 各モデルの詳細データはZaber社ウェブサイトにてご確認ください。 | |
ストローク:16mm | ストローク:30mm | ストローク:60mm |