大気中・超真空(UHV)・光学における高精度モーションコントロールデバイス製品情報『日本カンタム・デザイン株式会社』
精密電動ロータリーステージ
コントローラ・ドライバー内蔵 小型高精度ステージ ・モデル:X-RSM40B-E03 (ロータリエンコーダ内臓タイプ) |
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ステージ直径 | 40x40 mm |
精度 | 0.14 ° |
繰返し精度 | < 0.02° |
最大耐荷重 | 50 N |
最高速度 | 120 °/s (20 rpm) |
最大トルク | 60 N-cm |
標準分解能 | 0.00046875 ° |